高纯气体输送系统对设计方案的要求
整 个输送系统必 须有高度的 气密性 和严格的沽净度 。 供气方式的选择 、 一个集 中 目前国 内还没有 区域性 的 管道供气方式，管道氮气置换， 除 自备 “ 空 分 ” 装 置 外 ， 大多 为商品 气、 诸如北 京 、 上 海 、 江 苏、 浙 江 的 一 些集成 电路厂越来越多地改用 液态 源集 中气 化供应 ， 据说在 公里范围 内有液态源 ， 还 是有使用的可取之 处 ， 然 而不论是 用 液态 还 是气态 ， 将贮存容器集 中输送为 好 ， 更有利于 安全管理、 两种选择 图 是上 无 十 四 厂 气站 直 接 向 各 车 间 供应 电子纯液氧 ， 液氮的系统流 程 图 。 第二种选择 ， 我们可 以参照 图 ， 它是贝 岭公司气站集 中供应 个 液氮液氧再经纯 化装置后 向工艺车间供应高纯氮 ， 高纯 氧的 系统流程图 。 、 三个方式丫夕、， 户 气站高纯气 使用点 关于管径和管路形式 气体输送系统的详细设计固然要以有关 技术规 程 和 安全 法 规为基 础 ， 进行 流量 估 算 ， 采用经济合理的流速 ， 考虑到使用压力和 管阻及输送距离 ， 确定合理的管径和管路形 式。 在上无 四 厂 ， 我们对多个生产车伺 ， 采 用在气站设 分气 缸 图 作 辐射 状安装 ， 各车间管径相 同， ***一路， 力避相互窜气干 扰 ，管道氮气置换， 保持工作 压 力 稳定 当 时设计 压 力 仅为 一 勺， 使用管理和维护方便 ， 而在贝岭‘ 公司全部管路成树枝状 延伸 ， 干 管统一为 一 个 口 径 支管 又 统 一 为 一 个 口 径 。
氮气置换法处理停共装置存留液化气

　液化气

主要成分由丙烷（C3H8）、丁烷

（***H10）组成，部分中还会含有

（C3H6）以及丁烯（***H8）成分，因此液化石you

气也俗称为 C3、***。

LPG 常压下为气态，本身无色无味，具有气

体性质，经过加压和降温处理后可成为液态，密

度相应增大。LPG 闪点为 -74 ℃，引燃温度为

426~537 ℃，极限在 5％ ~9.65％。LPG 的热

值较大，燃烧温度可高达 1 900 ℃。

LPG 体积膨张系数大约是同温度下水体积膨

胀系数的 10~6 倍，随着温度的升高，LPG 液态

体积会不断的膨胀，气态压力也会不断增加，温

度每升高 l ℃，体积膨胀约为 0.3%~0.4%，气压

增加约 0.2~0.3 MPa。

LPG ，比、柴油等有更大的火

灾***性。LPG 液态时的比重比水轻，气态

时的比重为空气的 1.56 倍。由于 LPG 比空气重，

因此，LPG 从管道或容器中泄漏出来时，会像水

一样往地面低洼处流动和聚集，很容易达到的爆

扎浓度，在遇到静电或火花时非常容易引起火灾

事故。

氮气在液化气中的溶解性

氮气难溶于水，在常温常压下，1 体积水中

约溶解 0.02 体积的氮气。氮气是难液化气体，在

液化气中的溶解度比较低，但是无明确的氮气在

液化气中的溶解度数据。

　液化气的气化

LPG 的气液态体积比值大，液态的 LPG 挥发

性较强，在液态 LPG 挥发成气体时，燃气管道氮气置换方案，其体积能够

迅速扩大 250~300 倍，因此极易引起设备超压。

注氮过程险的预防

为避免注氮过程中的风险，施工人员应首先将清管器置入

管道，继而逐渐排出管道中的氧气，打开出站阀门，注入

氮气。在此基础上，应采用以下手段对风险进行预防 ：(1) 人的

不安全行为预防 ：确定操作员工的精神状态及技能能力是否

满足工作需要。(2) 工艺检查 ：施工人员应于氮气置换前，对注

氮设备进行检查，判断设备连接是否完好，长输管道氮气置换，避免发生氮气***，

以免导致高浓度的氮气对施工人员的安全造成威胁。(3) 现场

工作环境检查，密闭环境或氮气容集聚的场加强通风，或采取

强制通风措施。(4) 应急措施到位 ：工作现场有相应的应急预案

并有与之对应的应急救援器材。

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