高纯气体输送系统对设计方案的要求
整 个输送系统必 须有高度的 气密性 和严格的沽净度 。 供气方式的选择 、 一个集 中 目前国 内还没有 区域性 的 管道供气方式， 除 自备 “ 空 分 ” 装 置 外 ， 大多 为商品 气、 诸如北 京 、 上 海 、 江 苏、 浙 江 的 一 些集成 电路厂越来越多地改用 液态 源集 中气 化供应 ， 据说在 公里范围 内有液态源 ， 还 是有使用的可取之 处 ， 然 而不论是 用 液态 还 是气态 ， 将贮存容器集 中输送为 好 ， 更有利于 安全管理、 两种选择 图 是上 无 十 四 厂 气站 直 接 向 各 车 间 供应 电子纯液氧 ， 液氮的系统流 程 图 。 第二种选择 ， 我们可 以参照 图 ， 它是贝 岭公司气站集 中供应 个 液氮液氧再经纯 化装置后 向工艺车间供应高纯氮 ， 高纯 氧的 系统流程图 。 、 三个方式丫夕、， 户 气站高纯气 使用点 关于管径和管路形式 气体输送系统的详细设计固然要以有关 技术规 程 和 安全 法 规为基 础 ， 进行 流量 估 算 ， 采用经济合理的流速 ， 考虑到使用压力和 管阻及输送距离 ，燃气管道氮气置换方案， 确定合理的管径和管路形 式。 在上无 四 厂 ，管道氮气置换， 我们对多个生产车伺 ， 采 用在气站设 分气 缸 图 作 辐射 状安装 ， 各车间管径相 同， ***一路， 力避相互窜气干 扰 ， 保持工作 压 力 稳定 当 时设计 压 力 仅为 一 勺， 使用管理和维护方便 ， 而在贝岭‘ 公司全部管路成树枝状 延伸 ，管道氮气置换， 干 管统一为 一 个 口 径 支管 又 统 一 为 一 个 口 径 。
管道置换用什么材质

管道所用材质取决于使用工况。

两方面

1，氮气温度和压力:如果是常温氮气瓶，那就不考虑温度了，如果是液态氮汽化后的气体，需要考虑进口温度和天气状况，这个控制的不是那么精准，会有误差。另外就是压力:pe管材承受压力范围我不清楚，但肯定不如无缝钢管，常温氮气瓶压力很高的。

2，使用工况，这个管子在什么环境下使用？设计使用年限？承重吗？潮湿吗？对卫生有要求吗？等等。

综合来说不锈钢无缝管基本在各个方面都比pe管有优势，缺点也很明显就是价格贵，不过一般都是使304材质不锈钢管作为气体传输管道。耐压，耐低温，耐一定高温。

2、气瓶柜的技术要求为铝型35×35框架，柜门、侧板采用金属冷轧板，均用环氧树脂粉沫喷涂，内设可活动的气瓶抱箍，管道 氮气置换，便于气瓶的更换和移动。地脚为不锈钢螺丝、尼龙罩盖、橡胶底座组合结构，可调节高度为0—0.3m。配置了气体泄漏报警、温度数字指示、气体***时自动排放。具有防爆、阻燃等功能。

3、实验室应按照房间大小比例设计相应数量带逆风阀的换气扇，使空气流通顺畅，保持清洁。每个房间都要设计带有过滤装置的通气孔，如果是带有室内走廊的房间也可在门窗上设百叶窗，尺寸按照排气量比例关系计算。

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