安全保障事项

职业健康安全

(1) 按行业规定穿戴防护用品，管道氮气置换方案，着棉质防静电工作服，不得

穿带钉子的鞋。

(2) 配备氧气呼吸器。

消防安全

施工作业现场须用警示带隔离并设置“禁止火源”、“禁止

吸烟”等安全标志，在警戒区内严禁烟火，禁止带入火种、手机，

按规定配备足够灭火器材。

施工操作安全

(1) 提前对所有放散点进行踏勘，确保放散点与明火和散

发火花地点、民用建筑的距离分别不小于30m、25m，放散口应

高出地面2.5m 以上，并选择空旷平整地带安装稳固。

(2) 置换前，对管道及放散火炬做好接地处理。

(3) 置换进气端须安装压力表，检测压力。

(4) 确保注氮管线与注氮口、放散火炬与放散口连接可靠。

(5) 浓度检测设备应备两台，一台检测，另一台复检，避免

引起误判。

(6) 施工点位应保持通风 ；施工中应采用防爆型工器具 ；

工具轻拿轻放，防止碰撞产生火花。

(7) 严禁相通的天ran气管道同时进行2 个及以上开口( 含

切割口和放散管进行放散的开口) 的碰口作业 ；严禁作业时氮

气、空气进入调压器( 柜) 下游的低压天ran气管道系统。

储罐系统驴气干燥和置换步骤

储罐系统干燥和置换

储镶干燥和置换需用由液氮！临时气化系统提供来完成置换工作。｜临时气化系统产生氮的气通过临时管道接入Tl 203 镶系统的氮气管网，再进储罐内部内罐内，长输管道氮气置换，控制其进入罐内的流量，保持内罐A 区、拱顶A 区与 B 区环隙空间压力平衡。氮气可绕储罐 A 区、泵井和B 区循环。向储罐引人时，将罐顶中心吹扫喷嘴上的阀门部分打开，以 将储罐压力控制在 8( ± 0 . 5)

k.Pa，并安全放空置换用氮气与空气的？昆合气体。液氮临时气化 系统｛共应在开始时较低，在检查制氮装置的运行情况，且罐内形成氮气一空气界丽后，方可再缓慢纳加氮气供应量。

当内罐氧含量低于15%，对泵井管进行干燥和置换。氧含量低于8%，对 B 区进行干燥和置换。 在内罐的低于一20℃ 且氧含量低于4%时，完成 A 区的干燥和置换工作。当 B 区的露dian低于－10℃且氧含量低于 4%时，管道氮气置换，B 区完成干燥和置换。当 B 区的氧含:!Jt低于 8%时，宦 接把 B 区的 氮气导人 C 区进行干燥和置换。调节八区 、B 区的氧气排放口的开度，使此二区的压力不得超过 I5 kPa ， B 区氮气将通过 raJ隙 渗透进罐底边缘板下部说凝土层及＂＇幅板下部的干砂到达内罐底中心部位，并通过初 级底部吹扫 1--l 排出 储嫌。

C 区进行干燥和置换过程中，A 区、日区的压力必须控制始终大于 C 区的压力，以免产生储罐底部***。当C 区氧含量低于 8%时，可以对D 区进行氮气干燥和置换。当初级底部吹扫处l驭样点的氧含量低于4%时， C 区置换合格，继 续对 C 区进行干燥直至储罐及管道系统的氮气干燥置换工作全部完成。

D 区干燥和l 置换先打开底部平衡「l ， 从B 区平衡系统国流口引入喧与D 区相接顶角平衡口，再从底部平衡口置换出空气，控制 D 区的压力不可大于其它区的压力 ，同时保 持A 区、

B 区的压力不得超过 I 5kPa ，当底部平衡口处取样点的氧含于4%时，D 区置换合格，整个储罐完成干燥和置换。

为了维护高纯气 体的洁净度 ， 、 我们需要 防止配管在施工时尘 埃 的混人 ， 管材切割 时 产生的切屑以及油垢的附着和清洗时各类药 剂的残存 ， 当然 ， 在施工时要完全防止尘埃的 污染是件困难的事 。 祖我 们在 防止 阀门， 管 子 内壁 附着灰尘 ， 使其降低至 小限方面 应 尽努力 为此 ， 在现场施 工 时 已经经过 清洁处 理 的 配 管 ， 阀 门等尽 量 在 使用时开 包。 如果是现场清洗干净的亦应及时用塑料 袋包封保管 整个系统配管施工 结束 ， 进行 全系统的气密性试验和耐压试验， 并对全 系 统进行大流量吹扫 ， 准备各种检查 ， 配管施工 的一般工序

验收 现场对管子 ， 接头、 麟勺等进行 外观检查完好， 并确认其规格、 奴量 、 对 国外 购置的都件等 ， 还要确认其拭拇单等 。 然后 进行分类存放保管。加工 、 切 断 。 对 于 市 场不 销 瞥 的 管 接件和另件要事先***加工使工 程 不致等 待。 切断管子 ， 必须按需要尺寸而定 ， 必须严 聆防止管子变形及修整毛初， 宜用高速切管 机 ， 使切断端面垂直 ， 、 洗净 。 对于 制造厂洗净的抛光管而保 管好的， 不需现场洗净， 对 于 加工 ， 切 断的管 子 ， 配件必须洗净处理 。 国外对于 半导 体行 业用的高纯气体系统的管道 ， 时门及配件， 有 现成的系列产品和 ***公 司 首先 ， 他们 可 以向钢管生产广订购经过一定处理的坯管再 经过机械抛光 脱脂处理六 酸洗 电抛光 ， 化学抛光然后在洁净条件下 经高纯水清 洗、 脱水 、供干包封 目前国 内也有经机械抛 光等处理 的不锈钢系列管道 供应 在 八 四 年 ， 上无十西厂高纯气站改造工程 中， 我们qua面来用不锈钢管 自己酸洗即化学擂蚀方法收 到了较好的效果 。 其方法是 ， 攀内壁擦试 脱脂处理 、 水冲洗一 化学腐蚀一 水洗 纯 水冲洗‘ 脱水 高纯 从 吹于一 封存 ，燃气管道氮气置换氧含量， 脱脂 用弓或 ， 应在通风条件下进 行 腐蚀液配 比是 一 一 一 用和的混合液对不锈钢内壁 表面在拉伸过程中混人的尘埃， 油垢等杂质 离子进行腐蚀剥离 其 中时间 的掌握是 关 键 ， 杏则将增加内壁的粗糙。

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