2储罐系统干燥及置换施工准备
储罐系统及现场施工准备

干燥及置换前，与干燥及置换相 关的所有储罐系统应完工，且必须经各相关单位等联合检查，燃气管道氮气置换，并签字确认。

(I） 储罐安装、罐内接管安装、保冷安装、珍珠岩填充、罐内接地、仪表回路等工作完成确认g

(2） 完成低压泵安 装工作，对储罐进行封闭确认：

(3） 安全阀 和破真 空阀 按规定调 校完 毕并上 报相关资料

其隔离阀锁开。

现场施工其它工作准备

(I） 现场确保储罐顶部 、楼梯和地面有充分照明以便夜间操作g

(2） 氮气干燥和l置换区域周围设置标志，禁止未 ***人员进入置换现场 z

(3） 所有阅门按氮气干燥和置换要求 挂牌标识状态，必要时上锁保 护。

临时液氮气化系统的安装准备

(I） 液氮储罐的安装，按一般静置 设备基本要求进行 ，保证设备的垂直度符合要求；

(2） 临时气化器、加热器安装s

3 ）临时 液氮气化系统管线安 装及与系统氮气相连管道安装；

(4） 整个临时系统管 线的压力试验符 合要求。

干燥和置换工艺流程及区域划分

工艺流程

液氮气化系统的安装→ l临时氨气管线安装→液氮气化→储罐 A 区置 换→储罐 B 区置换 →储罐 C 区 置换 →储罐 D 区 置换→储罐进行加减压干燥置换→干燥和置换合格确认

储罐内部置换区域划分

实验室气路安装3

（1）性气体

把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，管道氮气置换，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧***性就越高，如B 2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H 2，NH3，PH3，DCS，ClF3 。

（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对******、***的。其中又以AsH3， B 2H6，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO， ***F6，C5F8 ，NF3，CH 3F等都属于毒性气体。

（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl， HF， PCl3， SiF4，ClF3，WF6等。

（4）惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对***产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2 F6，CF4，长输管道氮气置换，SF6，CHF 3等。

（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ，Cl2，NF3等。

置换新建管道 ：依次开启放散点5 的火炬放散阀、X1-1，管道氮气置换，

缓慢开启X3 阀门控制压力和流速，直至检测合格后关闭调压

器进口阀门 ；打开放散点6 的火炬放散阀、X2-1，直至检测合

格后关闭调压器进口阀门，按程序拆除放散点5、6 处放散火炬

并***放散口原貌，完全开启X3 阀门。

置换在运支管 ：对支管2 进行置换，依次开启放散点3 的

火炬放散阀、调压器进口阀门，缓慢开启ZF2 阀门控制压力和

流速，直至检测合格后关闭调压器进口阀门，按程序拆除放散

火炬并***放散口原貌，完全开启ZF2 阀门 ；同理对支管1 进

行置换。完成后，对碰口点、拆卸过的管件进行检漏，确认无泄

漏后方可***供气。

***供气

开启GF2、GF3、X1、X2 阀门，***并网后整个中压管网正

常供气 ；对调压器后的低压管网，严格按照低压系统***供气

程序进行***供气作业。

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