准备工作

天ran气置换氮气作业关键点的确定

(1) 置换流速、压力。置换气体流速控制在5m/s 以内，置换

压力宜控制在5kPa 以内。

(2) 置换时间的估算。可采用3.1(6) 列出的估算式估算。

(3) 天ran气浓度检测。天ran气置换氮气时，当检测口混合气

体中O2、N2、CH4 与置换的含量一致时( 连续3 次取样，

每次间隔不少于5min)，置换合格。

***准备

(1) 建立统一***机构，确保各项工作责任落实，分工明确。

(2) 配备好作业人员并开展学习培训，掌握置换方案，熟悉

职责分工和置换作业原理、流程、内容、步骤、安全要求，准备好

所需工器具，开展室内或实地模拟演示。

4.2 技术准备

(1) 编制置换方案、应急预案等作业方案。提前对作业涉及

管网现状，其他***管网情况，交通状况，作业沿线附近其他危

化品的储存、销售企业情况和收发油( 气)、加油( 气) 作业状况

进行详细调查核实，了解气象预报，为方案编制提供基础数据。

确定作业关键点，编制科学合理、安全可靠的方案，并按规定完

成审批。

(2) 分级技术交底。***由作业总指挥向各单位作业负责

人、各单位作业负责人向本单位作业人员逐级交底，做好记录

并经签字确认后归档。

实验室气路安装3

（1）性气体

把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧***性就越高，如B 2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H 2，NH3，PH3，DCS，ClF3 。

（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对******、***的。其中又以AsH3， B 2H6，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO， ***F6，C5F8 ，NF3，CH 3F等都属于毒性气体。

（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl， HF， PCl3， SiF4，ClF3，管道置换氮气，WF6等。

（4）惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对***产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2 F6，CF4，SF6，CHF 3等。

（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，管道氮气置换，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ，Cl2，NF3等。

1）氮气置换液化气期间，控制高压氮气阀

组开度，严格控制各设备塔压，防止设备超压。

2）氮气置换各设备内部液化气时，应逐个

置换，管道氮气置换，确保在置换期间液化气管线能够大流量贯

通氮气，保证置换效果。

3）在置换期间，应派专人紧盯现场液面计，

防止氮气过量至缓冲罐 D-501，造成 D-501 压力

偏高，影响后续设备置换进度。

4）撤压时，应缓慢进行，控制撤压阀门开

度，防止氮气置换液化气后残留的液化气大量气

化，造成设备超压。

5）系统撤压完毕后，可投用各塔、罐底部

伴热，提高液化气挥发速度，减少设备内部液化

气残余量。

6）置换完毕向低瓦系统内撤压时，要缓慢

进行，防止冲击低瓦系统。

　环保分析

与水顶液化气法相比，氮气置换液化气方法

具有明显的环保优势，管道 氮气置换，

氮气置换液化气的方法不但节约了 500 t 的

新鲜水，同时避免了 500 t 废碱性水的产生，以

及废碱性水带来的环保影响。

结　语

1）高压氮气置换液化气的工艺方法应用成

功，效果非常理想。不仅了碱性水的产

生以及排放问题，而且解决了因碱性水进入污水

处理场导致外排水不合格的情况，取得了较好的

环保效益。

2）高浓度的外排废碱性水处理费用约为

1 200 元 /t，通过氮气置换液化气的工艺方法，每

次检修可节省费用 60 万元，取得了较好的经济

效益。

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