实验室气路安装5
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，天燃气管道氮气置换，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，管道氮气置换，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及***气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的***气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
干燥和置换讨论

干燥和置换方式的选挥

T l2 03 储罐的氮气干燥和置换，其容积达19. 78 万时，置换方法的选择将影响储罐置换的总体进度，从此次置换过程来分析，实际施工时可以灵活的选用任何一种方法进行，但对于此类初期置换容和、，长输管道氮气置换，大内部空间 空气体积量较 大的可优先采用连续干燥和置换的方式进行，在一定压力下连续置换效果与初期有所下降时，及早改用压涨式进行置，换此二种方法相结合对加快储罐系统干燥和置换发挥了良好作用。

5.3. 2 置换路径方面的优化

储罐系统置换所分的四个区，每个区置换的时间要求均不 同，从重要程度、难度方面分析，从工施的可行性这一角度进行论证，可将 A 区与B 区在置换接近设定标准值前，提前用其处的氮气对C 区与 D 区同时进行干燥与置换，多点同时进行的方法相当于缩短了系统置换时间。

5. 3. 3 升、力速度的控制

氮气干燥置换过程中， 每小时压力变化不能超过 2kPa，同时特别注意在升压时要保证各区压力情况为：A 区；，二， B 区 注C 区》D 区。次压涨式进行干燥和置换时，压力范围可控制到3～ lOkPa 左右，之后的可控制到5 ～ IOkPa 左右，加减压排放的方式进行加强巩固干燥效果时，尽可能小的升、力速度，以免压力波动对储罐系统带来不可预见的影响。

5. 3.4 干燥和置换介质讨论

干燥和置换介质从（lt;BS EN 14620-5- 2006 第 5 部分：试验、

干燥、置换和冷去H》描 述需要选择惰性气体，从经济、适用上优先选用相对便宜且较为容易获取的氮气进行置换工作，置换过程 中可在适当的时间给氮气进行加热处理， 作用为加速空气与氮气的混合，有利于罐内空气及水份的排出，加快达到罐内、 含氧量的质量要求。

(4) 结构设计分析。平面张弦梁结构的受力特 性实际上相当简支梁的受力特性。从截面内力情况 来看 ， 张弦梁结构与简支梁一样需要承受整体弯矩 和剪力效应。根据截面内力平衡关系 ， 张弦梁结构 在竖向荷载作用下的整体弯矩由上弦构件的压力和 下弦拉索的拉力所形成的等效力矩来承担。由于张 弦梁结构中通常只布置竖向撑杆 ， 且下弦拉索不能 承受剪力 ， 从 2 根竖向撑杆之间截面内力平衡关系 来看 ， 其整体剪力基本由上弦构件承受。因此上弦 构件除了整体弯矩效应产生的压力外还承受剪力以 及由剪力产生的局部弯矩效应。 (5) 结构设计分析结果。采用有限元分析软件 ANSYS 对张弦梁结构进行了强度及刚度分析 ， 得 到张弦结构中各种杆件的受压应力、拉应 力值、结构的位移和变形情况 ， 终确定结构的各 种杆件的截面尺寸。 (6) 作用分析。对张弦梁结构进行了自振 特性分析和时程响应分析 ， 获得结构前几阶控制周 期及其对应振型。从结构的时程响应和自振周期来
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