城镇天燃气管网氮气置换作业探究

天ran气作为清洁能源，广泛应用于城镇居民生活和工业

生产中。在新建或检修管运前，为保障安全，都会进行氮气

置换。

1 天ran气管道氮气置换目的

对天ran气管道进行置换，管道氮气置换，实质是采用化学性质稳定且不

可燃烧的气体( 惰性气体或氮气) 将管道内原有气体置换出来，

杜绝管道投运时注入的天ran气与空气混合形成爆扎介质，从而

保障安全投运。

实验室气路安装设计规范

1.实验室的用气量、用气点以及使用的什么气体，管道置换氮气，

2.实验室的结构，

3.气体存储装置点，

4.用气实验台结构及规格形状

5.实验室所在建筑的结构。

6.管件及组件的选材，根据气体类别和实验室需求选择

实验室气路安装系统组成

主要由气源切换系统(一级减压系统)、管道及连接件系统、二级调压系统、气体过滤纯化系统、气体报警系统、压力表、球阀等组成。

气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，燃气管道氮气置换，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及***气体的传输上，管道 氮气置换，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的***气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
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