实验室气路安装3

（1）性气体

把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧***性就越高，如B 2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H 2，NH3，PH3，DCS，ClF3 。

（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对******、***的。其中又以AsH3， B 2H6，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO， ***F6，C5F8 ，NF3，CH 3F等都属于毒性气体。

（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl， HF， PCl3， SiF4，ClF3，WF6等。

（4）惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对***产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2 F6，CF4，燃气管道氮气置换方案，SF6，CHF 3等。

（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ，Cl2，NF3等。

条件准备，物质准备，抢修准备

作业前，应具备作业管网运行状态良好可控、社会( 用户)

认可支持、具备动火作业条件、气象状况适合四个方面的条件，

这就要求进行必要的前期测试、置换告知、办理动火审批、关注

气象预报。

(1) 前期测试。包括置换涉及在运和新建的管网及阀门的

切断性试验、调压器试验，管网升压试验。一般要求提前对进出

作业管网主阀门、分支管道阀门、调压器及进出口阀门的性能

进行测试检查，确保状况良好、启闭可靠。

(2) 置换告知。提前48h 将停气及***供气时间通知有关

部门及用户，作好宣传解释并告知用户停气期间注意事项，编

制应急预案并做好应急处置准备。

告知放散点附近的油库及加油站并达成共识 ：在

燃放作业时段必须停止收发油及加油作业。

(3) 动火审批。制定动火作业方案和填写动火作业审批报

告，燃气管道氮气置换，逐级审批 ；动火前进行现场准备工作和安全检查。

(4) 气象关注。提前关注作业时段气象预报，置换作业应避

开雨、雪、雷、雹及6 级以上大风的天气。

物质准备

主要包括交通工具、通信设备、安全设施、检测仪器、放散

设施、专用设备( 氮气储存车辆及气化设备)、防爆型( 照明、通

风) 设备等，须逐一准备到位并确保状况良好。

抢修准备

针对应急预案，组建***抢修***并到位，配备必要的抢

修装备、物资，以应对可能出现的故障或事故。

气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，管道置换氮气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及***气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，管道氮气置换，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的***气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
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