***气体的特别事项
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种***气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的***气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的有***体的泄漏，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有***体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对***危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，管道 氮气置换，严重时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动***控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。
氮气用量
输油管道中遇到的流态一般为：热含蜡管道 工作在水力光滑区；较轻的成品油管道工作在混合摩 擦 区 ；高黏油和燃料油管 道工作在层流长输管道 一 般很少工作在粗糙 区。 考虑 到如 果氮气 压力过 高，则相应 的氮气 成本和 放空时 间均 会增加，而且氮 气压力越高 ，作业风 险也越 大 。因此 ，在选 择该工 艺时 需要根据 管道工 艺高程差 综合 考虑 作业 的经济性 ，建议在注氮 点与 回油翻越 点 高程 差小于 2801TI的管道上选择该工艺处置方式 。氮气用量 的计算公式为 ： (4) 式 中： 为氮气充满的管容，ms；P 为注入的氮气压 力 ，kPa；P，为常压，101．325kPa。 每吨液 氮转 化为 1个 标准 大气 压、5℃下 的体积 理论上是 808m3，实际操作 中一般取 650m3，根据氮气 用量计算需要液氮的量。 综 上，长输管道氮气置换，推 动清 管器 所 需 的压 力越 大，氮 气 用量 越 大 ，在 实际应 用 中要考 虑 注氮压 力 、管道 允许 停输 时 间、排气时间以及氮气用量等经济因素，如果氮气用量 过大 ，则考虑使用其他方法 2 清管器选型与运行控制 2．1 清管器选型 清 管器是利 用流体 压力推动 穿过 管道达 到清管 、 测 量、探 测 或其 他 目的 的设备 (图 1) 。氮气 推 动清 管器回油时利用清管器的隔离功能 ，管道氮气置换，控制管 内液体 ，管道氮气置换方案，减少液体 积存 ，置换管道 内的油 品，因此选择合适 的清管 器对 回油是 否成功起 着关键 性作用 。 由于不同管道的工艺条件不 同，需要考虑以下因 素 ：清 管器 密封 良好 ，耐摩 擦 ；如 果采用 反推 清管 器方 式 ，则必须使用可在 管道 内双向运 行的直板清管器 。 2．1．1 清管器类型 根据 回油 方式 的不 同，选用 双 向直板清 管器或 蝶 形清管器 。
根据上游供气能力、管径及流速 ， 测算 出每小时的供气量。投产时控制流量 ， 保证 管道中流速不大于 5 m/ s。 根据测算的混气头到达各阀室和场站的时间 ， 提前在下游的阀室和场站进体检测 ， 先用便携 式含氧量分析仪在主管道上检测氮气含量 ， 当检测 到纯氮气时 ， 立即对放空和排污管线进行氮气置 换。然后再接着采用量程为 0～100 %的便携式可 燃气体检测仪对氮气与混气段进行检测 ， 当 氮气与混气段通过检测地点时 ， 混气段的天 ran气含量将从 0 逐渐上升
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