为了维护高纯气 体的洁净度 , 、 我们需要 防止配管在施工时尘 埃 的混人 , 管材切割 时 产生的切屑以及油垢的附着和清洗时各类药 剂的残存 , 当然 , 在施工时要完全防止尘埃的 污染是件困难的事 。 祖我 们在 防止 阀门, 管 子 内壁 附着灰尘 , 使其降低至 小限方面 应 尽努力 为此 , 在现场施 工 时 已经经过 清洁处 理 的 配 管 , 阀 门等尽 量 在 使用时开 包。 如果是现场清洗干净的亦应及时用塑料 袋包封保管 整个系统配管施工 结束 , 进行 全系统的气密性试验和耐压试验, 并对全 系 统进行大流量吹扫 , 准备各种检查 , 配管施工 的一般工序
验收 现场对管子 , 接头、 麟勺等进行 外观检查完好, 并确认其规格、 奴量 、 对 国外 购置的都件等 ,管道氮气置换, 还要确认其拭拇单等 。 然后 进行分类存放保管。加工 、 切 断 。 对 于 市 场不 销 瞥 的 管 接件和另件要事先***加工使工 程 不致等 待。 切断管子 , 必须按需要尺寸而定 , 必须严 聆防止管子变形及修整毛初, 宜用高速切管 机 , 使切断端面垂直 , 、 洗净 。 对于 制造厂洗净的抛光管而保 管好的, 不需现场洗净,管道 氮气置换, 对 于 加工 , 切 断的管 子 , 配件必须洗净处理 。 国外对于 半导 体行 业用的高纯气体系统的管道 , 时门及配件, 有 现成的系列产品和 ***公 司 首先 , 他们 可 以向钢管生产广订购经过一定处理的坯管再 经过机械抛光 脱脂处理六 酸洗 电抛光 ,长输管道氮气置换, 化学抛光然后在洁净条件下 经高纯水清 洗、 脱水 、供干包封 目前国 内也有经机械抛 光等处理 的不锈钢系列管道 供应 在 八 四 年 , 上无十西厂高纯气站改造工程 中, 我们qua面来用不锈钢管 自己酸洗即化学擂蚀方法收 到了较好的效果 。 其方法是 , 攀内壁擦试 脱脂处理 、 水冲洗一 化学腐蚀一 水洗 纯 水冲洗‘ 脱水 高纯 从 吹于一 封存 , 脱脂 用弓或 , 应在通风条件下进 行 腐蚀液配 比是 一 一 一 用和的混合液对不锈钢内壁 表面在拉伸过程中混人的尘埃, 油垢等杂质 离子进行腐蚀剥离 其 中时间 的掌握是 关 键 , 杏则将增加内壁的粗糙。
1)氮气置换液化气期间,控制高压氮气阀
组开度,严格控制各设备塔压,防止设备超压。
2)氮气置换各设备内部液化气时,应逐个
置换,确保在置换期间液化气管线能够大流量贯
通氮气,保证置换效果。
3)在置换期间,应派专人紧盯现场液面计,
防止氮气过量至缓冲罐 D-501,造成 D-501 压力
偏高,影响后续设备置换进度。
4)撤压时,应缓慢进行,控制撤压阀门开
度,防止氮气置换液化气后残留的液化气大量气
化,造成设备超压。
5)系统撤压完毕后,可投用各塔、罐底部
伴热,提高液化气挥发速度,减少设备内部液化
气残余量。
6)置换完毕向低瓦系统内撤压时,要缓慢
进行,防止冲击低瓦系统。
环保分析
与水顶液化气法相比,氮气置换液化气方法
具有明显的环保优势,
氮气置换液化气的方法不但节约了 500 t 的
新鲜水,同时避免了 500 t 废碱性水的产生,以
及废碱性水带来的环保影响。
结 语
1)高压氮气置换液化气的工艺方法应用成
功,效果非常理想。不仅了碱性水的产
生以及排放问题,而且解决了因碱性水进入污水
处理场导致外排水不合格的情况,取得了较好的
环保效益。
2)高浓度的外排废碱性水处理费用约为
1 200 元 /t,天ran气管道的氮气置换,通过氮气置换液化气的工艺方法,每
次检修可节省费用 60 万元,取得了较好的经济
效益。
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