实验室气路安装5
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，氮气置换量，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及***气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的***气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
高纯气体输送系统配管施工要领

为了维护高纯气 体的洁净度 ， 、 我们需要 防止配管在施工时尘 埃 的混人 ， 管材切割 时 产生的切屑以及油垢的附着和清洗时各类药 剂的残存 ， 当然 ， 在施工时要完全防止尘埃的 污染是件困难的事 。 祖我 们在 防止 阀门， 管 子 内壁 附着灰尘 ， 使其降低至 小限方面 应 尽努力 为此 ， 在现场施 工 时 已经经过 清洁处 理 的 配 管 ， 阀 门等尽 量 在 使用时开 包。 如果是现场清洗干净的亦应及时用塑料 袋包封保管 整个系统配管施工 结束 ， 进行 全系统的气密性试验和耐压试验， 并对全 系 统进行大流量吹扫 ， 准备各种检查 ， 配管施工 的一般工序

验收 现场对管子 ， 接头、 麟勺等进行 外观检查完好， 并确认其规格、 奴量 、 对 国外 购置的都件等 ， 还要确认其拭拇单等 。 然后 进行分类存放保管。加工 、 切 断 。 对 于 市 场不 销 瞥 的 管 接件和另件要事先***加工使工 程 不致等 待。 切断管子 ， 必须按需要尺寸而定 ， 必须严 聆防止管子变形及修整毛初，氮气置换， 宜用高速切管 机 ， 使切断端面垂直 ， 、 洗净 。 对于 制造厂洗净的抛光管而保 管好的， 不需现场洗净， 对 于 加工 ， 切 断的管 子 ， 配件必须洗净处理 。 国外对于 半导 体行 业用的高纯气体系统的管道 ， 时门及配件， 有 现成的系列产品和 ***公 司 首先 ， 他们 可 以向钢管生产广订购经过一定处理的坯管再 经过机械抛光 脱脂处理六 酸洗 电抛光 ，氮气置换方案， 化学抛光然后在洁净条件下 经高纯水清 洗、 脱水 、供干包封 目前国 内也有经机械抛 光等处理 的不锈钢系列管道 供应 在 八 四 年 ， 上无十西厂高纯气站改造工程 中， 我们qua面来用不锈钢管 自己酸洗即化学擂蚀方法收 到了较好的效果 。 其方法是 ， 攀内壁擦试 脱脂处理 、 水冲洗一 化学腐蚀一 水洗 纯 水冲洗‘ 脱水 高纯 从 吹于一 封存 ， 脱脂 用弓或 ， 应在通风条件下进 行 腐蚀液配 比是 一 一 一 用和的混合液对不锈钢内壁 表面在拉伸过程中混人的尘埃， 油垢等杂质 离子进行腐蚀剥离 其 中时间 的掌握是 关 键 ， 杏则将增加内壁的粗糙。

(1)氮气置换过程中需密闭操作。提供良好的自然通风条件。

(2)操作人员必须经过***培训，严格遵守操作规程。防止气体泄漏到工作场所空气中。现场配备泄漏应急处理设备。

(3)一旦氮气大面积泄漏，人员应迅速撤离泄漏污染区至上风处，并进行隔离，严格限制出入

(4)应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。漏气源要妥善处理，管道氮气置换，修复、检验后再重新置换。

(5)人员吸入氮气应迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧呼吸心跳停止时，立即进行人工呼吸和胸外心脏按压术。就医。

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