高纯气体输送系统的设计施工及瞥理
高纯气休的翰送系统应该包括制造厂的 充灌葬里 ， 贮存容器 钥瓶或贮带 ， 运油描 车 ， 直到使用单位贮存设备、 传翰管道系娜直 到炉前管路 ， 亦即凡与高纯气体相接触的一 切设备、 管路 、 仪表 、 阀 门等 因 为高纯气体 在制取 以后 或纯化提纯 以后 的任何沾污或 输送系统管路阀门的 任何微 小泄 漏 ， 即使是 瞬时的恶化 ， 也是不 准许的 一 且沾 污要 回 复原状就相 当困难 如果是管路受到污染 回 复原状则 需相 当长时 间， 并导致庞 大 摄失 因此人们越来越重视提高高纯气体供应的每 一个环节的可靠性 和 质 监视 在 国外 ， 除 了改进空分装置直接 制取高纯 气体外 、 还着 重开发了大容童小体积的纯化装 置 随着大规模集成 电路集成度 的提高又 加 速 了各种气体输送系统的高沽净处理技术方 面做了大量工作 ， 形 成系列 产 品 诸如控制 配管 、 接头 、 阀门的 内表面粗糙度 减少 内表 面积 ， 减少使用另件的 漏 泄及 死 角 ， 改进和 提高洗净方法 ， 加强施工现场尘埃管理 ， ，‘减少 施工 时污垢物的混 人等 总之 ， 对高纯 气体 输送系统的设计 ， 施工及管理 日趋严格化 ， 引 起 人 们 普 遍 关 注 ，液氮置换公司， 我 们 借 鉴 下 面 一 张 关 于可以着出以污染为原因的图率缺陷高达 六成以上 ， 作为污染 的 内容主要是尘块引越 的断路和短路以及其它杂质引起户勺绝缘低劣 等 因此进行高纯气体翰送系统的设计施工 以及加强对这个系统的管理是理所 当然 的事 情 板国 内、 随着 电子产 品 的更新换狡和清 净技术的广泛应用为高纯气体配套的产品和 系统的管配件阀门已 不是不可能的事了 。 然 而要认真解决好高纯气 体的贮存 ， 输送技术 上的难题 ， 寻求更合理的供气方式加速老管 网的改造 ， 严格高纯气体输送系 统的管理 ，液氮储槽置换， 找 认为还有 “ 再谈” 和交流的必要‘
实例操作2

碰口施工

在碰口点1 处，采用机械切割方式对PE 管切割1 个小口，

小口处未发生燃烧或喷涌现象即可进行切割断管，后按

施工方案进行碰口施工，检查焊接质量直至合格。同理进行碰

口点2、3 处的碰口施工。施工完成后，开始进行氮气置换空气

作业。

氮气置换空气

首先关闭新建管道上X1、X1-1、X2 、X2-1、X3 阀门，然

后分三部分依次进行置换。

置换在运干管 ：关闭ZF1、ZF2 阀门，依次开启放散点4 的

火炬放散阀、调压器进口阀门、GF1-1 阀门，开始注氮，直至检

测合格后关闭前述开启的阀门。

置换新建管道 ：在X1-1( 放散点5)、X2-1( 放散点6) 放散

阀处连接放散火炬，依次开启放散点5 的火炬放散阀、X1-1、

X3、GF1-1 后开始注氮，液氮和氮气置换的区别，直至检测合格后关闭前述开启的阀

门 ；打开放散点6 的火炬放散阀、X2-1、X3、GF1-1，直至检测

合格后关闭前述开启的阀门。

(3) 置换在运支管 ：对支管2 进行置换，依次开启放散点3

的火炬放散阀、调压器进口阀门、ZF2、GF1-1 后开始注氮，直

至检测合格后关闭前述开启的阀门 ；同理对支管1 进行置换。

完成后，方可进行置换氮气作业。

天ran气置换氮气

同 5.4，本步骤分三部分依次进行置换。

置换在运干管 ：依次开启放散点4 的火炬放散阀、调压器

进口阀门，缓慢开启GF1 阀门并控制压力和流速，直至检测合

格后关闭调压器进口阀门，按程序拆除放散火炬并***放散口

原貌，完全开启GF1 阀门。

重视配管 防尘 ， 做好配管施 工 的 清沽管 理 ， 对 防尘的措施可 能想出多种 ， 必须从实际 工作做起 省先在切 断 ， 洗净 ， 焊接后等作业 结束时利用塑料薄膜或盲盖 封好 ， 而直至使 用时再次打开 不要放在灰尘发生的地方或 室外 切断后切屑婆立 即去除 阀门的开闭 要迅速 ， 一般应 以 关 闭状态 每 天 工 作结束 应将现场打扫干净 ， 尽盘防止尘埃侵人 获 配管的试验 、 检查和分析 配管连接完 工 以 后 ， 终工序之 一 的耐 压试验和气密性试验 以及检查 和分析 ， 其一 ，般程序如图 所示 飞 气密性和耐压试验基本应为同时并用 试 验 ， 试验条件以气密性试验的 小时放置及 耐压试验的设计压力 倍进行 同时进行 用检漏液 肥皂泡 试验的发泡确认 另外 ， 通过温度补偿的压 降残余压力 率 的标 准 即 以上 为合格 关于配管洁净度 尘埃 测定应为利用 实 际气体 滁外 的测定 ， 基本上 实施设备连 接取出用初级侧阀门总数的 测定 ，液氮置换， 求 出 平均值以判定是否合格 但在阀与测试仪器 连接 中间应连接扩散管以避免尘埃计数器损坏。 至于和含氧量及其它杂质的分析 ， 在有 纯化装 的场合应 以 纯化器 出 口 指标 为基准 在没有现 场分析仪的 ， 可通 过取样 瓶取样送验 。 但取样瓶必须沽净并在充灌时 予叔 充分里换 遴免任何形 式的沽污 ， 以 确 保其实际值 全部试验合格后 ， ’ 还应对配管介质标注 名称和流 向 一般不锈钢配管不涂 漆 ， 但非 不锈钢支承物应涂漆防锈后交付使用验收 三 、 高纯气体输送系统的管理 高纯气翰送系统的建立不仅耗费较大 的 ***和精力 ， 更重要 的它对生产工艺和 产 品 合格率的影响是 巨大的， 要使高纯化系统持 久地 发 挥 效 益 ， 必 须重视 和 加 强 对 它 的 管 理 。 有条件的 ， 建立系统的气体分析盘或 监控盘 ， 用以监视系统 的流食 ， 压力 ， 礴点及 含氧盈 及 凡 以 及装 置的工作 情况和 异 常报警 ， 以便有问题时及时发现 ， 及时调整 建立和健全值班记录制度 ， 对 系 统和 装 置运行工况进行记录 。 定期对系统终端 使用端 进行
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