高纯气体输送系统对设计方案的要求
设计者应对“ 用户 ， 提出的设计要求进行 重新估价 ， 力求在技术上可行 ， 经济上合理 ，管道置换， 对老管网 的改造工 程 还要 因地制宜 ， 考虑走 向合理和施工方便 上无十四厂的高纯气体 输送系统改造工程 由子技术夹层无法穿越管 道和进行焊接施工 ， 即采 用外墙 面敷设和 工 艺室 明管安装 、 尽管管道长了 ， 但施工方便和 焊接上的可靠 ， 达到 了改造 的予 期 效果 对 于部分老 管道 、 材质好 、 能置换干净而气密性 又好的就不该一律废 除 ， 但无论 是新老 管道 其方案设计的终都应该满足下列要求 、 系统可 靠 ， 能稳定供应和 输送高纯度 气体 ， 整个系统应该 防振动 ， 不 易 被 污染 ， 气 密性要妊、 能连续运行、 留有一定余量 采用 液 态输送则要保证气源 充足 ， 若用 钢瓶气则要 确保钢瓶周转余地 、 有高度 的安全性 。 由于 洁净厂 房多 数是无窗厂房 生产 中消耗可 燃性气体和 溶齐咬又多 ， 因此输送系统的安全性特别重要 。
实验室气路安装3

（1）性气体

把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧***性就越高，如B 2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H 2，NH3，PH3，DCS，ClF3 。

（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对******、***的。其中又以AsH3， B 2H6，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO， ***F6，C5F8 ，氧气管道置换，NF3，CH 3F等都属于毒性气体。

（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl， HF， PCl3， SiF4，ClF3，WF6等。

（4）惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对***产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2 F6，CF4，SF6，CHF 3等。

（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，管道置换，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ，Cl2，NF3等。

管道所用材质取决于使用工况。

两方面

1，氮气温度和压力:如果是常温氮气瓶，那就不考虑温度了，如果是液态氮汽化后的气体，需要考虑进口温度和天气状况，这个控制的不是那么精准，会有误差。另外就是压力:pe管材承受压力范围我不清楚，但肯定不如无缝钢管，常温氮气瓶压力很高的。

2，管道置换定额，使用工况，这个管子在什么环境下使用？设计使用年限？承重吗？潮湿吗？对卫生有要求吗？等等。

综合来说不锈钢无缝管基本在各个方面都比pe管有优势，缺点也很明显就是价格贵，不过一般都是使304材质不锈钢管作为气体传输管道。耐压，耐低温，耐一定高温。

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