长输管道氮气置换
根据上游供气能力、管径及流速 ， 测算 出每小时的供气量。投产时控制流量 ， 保证 管道中流速不大于 5 m/ s。 根据测算的混气头到达各阀室和场站的时间 ，氮气置换量， 提前在下游的阀室和场站进体检测 ， 先用便携 式含氧量分析仪在主管道上检测氮气含量 ， 当检测 到纯氮气时 ， 立即对放空和排污管线进行氮气置 换。然后再接着采用量程为 0～100 %的便携式可 燃气体检测仪对氮气与混气段进行检测 ， 当 氮气与混气段通过检测地点时 ， 混气段的天 ran气含量将从 0 逐渐上升 ，
实验室气路安装设计规范

1.实验室的用气量、用气点以及使用的什么气体，氮气置换，

2.实验室的结构，

3.气体存储装置点，

4.用气实验台结构及规格形状

5.实验室所在建筑的结构。

6.管件及组件的选材，根据气体类别和实验室需求选择

实验室气路安装系统组成

主要由气源切换系统(一级减压系统)、管道及连接件系统、二级调压系统、气体过滤纯化系统、气体报警系统、压力表、球阀等组成。

气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及***气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，氮气置换方案，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的***气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
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