在靶材和衬底之间加上一个直流高压,极板间的气体(一般为Ar2)电离,高速带电离子轰击靶材表面的溅射镀膜技术。要保持自持放电,在两极板间距为数厘米的正常溅射间距下,放电气压一般高达10帕,这对溅射效率和薄膜质量都是不利的。简单地说,就是进行了镀钛防锈处理,打磨了刃口更锋利,同时冲口外侧进行了抛光,拔起来更轻松(镀钛后如不打磨,表面光洁度不够,拔起来阻力太大,必须要再抛光)。因此,直流溅射多采用非自持放电,也就是加入热电子发射极和辅助阳极的四极溅射,可使溅射在10-1~10-2帕的低气压下进行。
直流二级离子镀,是稳定的辉光放电;PVD真空镀层按照膜层应用来分类可分为装饰膜层和硬质膜层:装饰膜层可以改善工件外观装饰性能和色泽同时使工件更耐磨耐腐蚀。空心阴极离子镀与热丝弧离子镀,是热弧光放电,产生电子的原因均可简单概括为金属材料由于被加热到很高的温度,导致核外电子的热发射;阴极电弧离子镀的放电类型与前面几种离子镀的放电类型均不相同,它采用的是冷弧光放电。在众多离子镀膜技术中阴极电弧离子镀可谓是其中的集大成者,其目前已经逐步发展为硬质薄膜领域的主力。

溅射镀膜基本原理:充(Ar)气的真空条件下,使气进行辉光放电,这时(Ar)原子电离成离子(Ar ),离子在电场力的作用下,加速轰击以镀料制作的阴极靶材,靶材会被溅射出来而沉积到工件表面。 溅射镀膜中的入射离子,一般采用辉光放电获得,在l0-2Pa~10Pa范围,所以溅射出来的粒子在飞向基体过程中,易和真空室中的气体分子发生碰撞,使运动方向随机,沉积的膜易于均匀。这方面主要应用五金行业的各个领域,如门窗五金、锁具、卫浴五金等行业。
现有镀膜工艺,多数均要求事先对工件进行严格清洗,既复杂又费事。离子镀的镀层***致密、无、无气泡、厚度均匀。甚至棱面和凹槽都可均匀镀复,不致形成金属瘤。这方面主要应用在各种刀剪、车削刀具(如车刀、刨刀、铣刀、钻头等等)等产品中。象螺纹一类的零件也能镀复,有高硬度、高耐磨性(低摩擦系数)、很好的耐腐蚀性和化学稳定性等特点,膜层的寿命更长;同时膜层能够大幅度提高工件的外观装饰性能