现在废气处理设备和工艺应用繁多，低温等离子和UV光解已是很普遍的废气处理设备和工艺，下面简单介绍一下： 技术介绍-低温等离子 低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、离子、原子和自由基等活性粒子与废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到分解污染物的目的。

低温等离子体废气处理设备和技术作为一种新型的气态污染物的治理技术是一个集物理学、化学、生物学和环境科学于一体的交叉综合性电子化学技术，由于能很容易使污染物分子分解且处理能耗低等特点，是目前国内外大气污染治理富有前景、行之有效的技术方法之一。

半导体废气处理设备

废气介绍：由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类：酸性废气、碱性废气、有机废气和***废气。

废气危害：半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放，将造成严重的问题，供应光解废气处理设备价格，不仅影响人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。

废气处理设备处理方法：依据这些废气的特性，在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法，光解废气处理设备参数，针对不同污染物，可采取以下综合处理方法：1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统。

废气处理设备

有机废气

有机废气的危害：在生产中，有机废气的排放一直是一个很突出的问题，光解废气处理设备，绝大多数有机废气对***的健康都***。如有机废气通过呼吸道和皮肤进入***后，能给人的呼吸、血液等系统造成暂时性和长久的病变，尤其是苯并芘类多环芳烃能使***直接致病，危害***健康。

有机废气还会造成严重的大气污染。一些有机物进入大气后，***光解废气处理设备，在一定条件下形成光化学烟雾，造成二次污染；一些有机物进入平流层后，在紫外线的照射下与臭氧发生光化学反应，造成臭氧层空洞；一些有机物具有恶臭污染和***气体的两重性；还有一些有机物会引起温室效应。

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