半导体废气处理设备
废气介绍:由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类:酸性废气、碱性废气、有机废气和***废气。
废气危害:半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放,将造成严重的问题,不仅影响人们的身体健康,恶化大气环境,造成环境污染的公害事件等,也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。
废气处理设备处理方法:依据这些废气的特性,在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法,针对不同污染物,工业废气处理设备图片,可采取以下综合处理方法:1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统。
1.特定的波段(253.7纳米)的紫外线对恶臭气体的分子链进行分解,洛阳工业废气处理设备,将其大分子结构打破变成小分子结构。2.特定的波段(185纳米)波段的紫外线使空气中的氧分子产生活性氧,工业废气处理设备视频,即游离态的氧。因为游离氧所携带正负电子不平衡,所以与空气中的氧分子结合,进而生成臭氧。3.受催化剂二氧化钛(TIO2)的影响下,臭氧将打碎的恶臭气体分子氧化成二氧化碳(CO2)和水(H2O)等无机物。
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有机废气 有机废气的危害:在生产中,有机废气的排放一直是一个很突出的问题,小型工业废气处理设备价格,绝大多数有机废气对***的健康都***。如有机废气通过呼吸道和皮肤进入***后,能给人的呼吸、血液等系统造成暂时性和长久的病变,尤其是苯并芘类多环芳烃能使***直接致病,危害***健康。 有机废气还会造成严重的大气污染。一些有机物进入大气后,在一定条件下形成光化学烟雾,造成二次污染;一些有机物进入平流层后,在紫外线的照射下与臭氧发生光化学反应,造成臭氧层空洞;一些有机物具有恶臭污染和***气体的两重性;还有一些有机物会引起温室效应。
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