国内半导体制造和光伏电池上游加工,包括:去头尾、截断、开方等的加工,大部分仍然采用金刚石带锯设备。加工表面粗糙,浪费材料,金刚石带锯价格也不菲。
实际上,应该使用金刚石线锯机切割加工,能得到更高的质量。
元素环形金刚石线切割机的主要性能:
1. 切割晶体尺寸: 300*300 mm
2. 切割线线速度: 小于60 m/s
3. 工作台进给速度: 500 mm/s
4. 晶片表面粗糙度: Ra≤ 0.2μm
硅片切割厂家
砂浆切割设备改造为金刚线切割设备的优点是,***小,每台设备的改造费用约60万元,可有效利用现有的设备,避免原有设备的闲置与浪费。目前,该方案适用于行业内部分近期无新增硅片切割项目的硅片切割厂家。但树脂金刚石线的工艺复杂,目前主要依靠进口,其成本较高,因此还得不到广泛的应用。由于是在原有的砂浆线设备基础上进行改造,因此改造设备相比专用设备,其切割效率及品质成本仍存在一定的差距,且随着金刚线细线化技术的不断发展,专用设备的优势将越来越明显。
高速线切割设备
树脂金刚石线的特点:
高强度树脂及金刚石相结合带来的强的切割能力,线径及金刚石粒度的配合及控制表现出了更好的硅片表面质量及切割表现,高耐扭曲能力的母线带来了非常低的断线率。但树脂金刚石线的工艺复杂,目前主要依靠进口,其成本较高,因此还得不到广泛的应用。
线切割设备多采用电镀金刚石线,国内的线切割设备生产厂家众多,生产能力强,已经可以满足各领域的切割需求
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