金刚石线切割设备
金刚石线切割设备成为研究和发展的主流趋势,本文介绍国外硅片切割设备研究的新进展以及国内发展状况,并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。
目前,硬脆性材料,如单晶硅、多晶硅、宝石、玻璃、陶瓷等,具有优良、稳定的物理和化学性能(如耐磨损性、抗腐蚀性、电绝缘性等),在电子、光学及其它领域得到广泛应用,特别是单晶硅、多晶硅、陶瓷材料被广泛用于太阳能光伏产业、半导体、真空电镀等高精端产业中。要求配备不同的转速和进给速度以及自动化程度和各种工装夹具的设计等等。伴随半导体、光伏材料技术的发展,需求量不断增加,切割加工量大幅增长,由于硬脆材料硬度高、脆性大,因此加工难度较大。
多线切割设备
目前,国内硅片多线切割设备仍然是国外品牌厂家统治的天下,其核心技术长期为他们所垄断,严重制约我国光伏产业和半导体IC产业的发展。***将对新能源及其装备制造业给予有力的政策支持,并提出要强化科技创新,提升产业核心竞争力,加强产业关键核心技术和前沿技术研究,强化企业技术创新能力建设,以推进重大科研成果产业化和产业集聚发展。***将对新能源及其装备制造业给予有力的政策支持,并提出要强化科技创新,提升产业核心竞争力,加强产业关键核心技术和前沿技术研究,强化企业技术创新能力建设,以推进重大科研成果产业化和产业集聚发展。
硅片切割设备
金刚线专用设备主要有进口专机和国产转机,进口专用设备的报价基本在350万到500万之间,代表厂商有梅耶博格MB-288、NTC PV600DT等设备;国产金钢线专用设备报价基本在200-240万之间,无论是国产专机还是进口专机,其前期投入均较大,且面临原有设备闲置浪费的风险,因此,目前该方案主要适用于近期计划新上硅片切割 设备厂家,如隆基、协鑫、阿特斯、比亚迪等近期新上的切片项目均采用的是金钢线专用设备。电子科大,川大,交大,瑞仕莱斯等科研院校,从微观分子结构入手,从本质上完善表面处理的原理和工业应用工艺的开发环形金刚石线锯机在磁性材料的切割方面有着绝极大的优势,切割NeFeB,截面63*36mm用时6分钟,进给速度5mm/min。
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