金刚石线切割设备

金刚石线切割设备成为研究和发展的主流趋势，本文介绍国外硅片切割设备研究的新进展以及国内发展状况，并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。

目前，硬脆性材料，如单晶硅、多晶硅、宝石、玻璃、陶瓷等，具有优良、稳定的物理和化学性能(如耐磨损性、抗腐蚀性、电绝缘性等)，在电子、光学及其它领域得到广泛应用，特别是单晶硅、多晶硅、陶瓷材料被广泛用于太阳能光伏产业、半导体、真空电镀等高精端产业中。无论切割何种材料切割速度太快都不利于切割出光滑平整的试样面，速度太快切割后的样品表面会有明显的切割线痕迹，因此当要求切断试样同时还要有很好的面型（平面度、平行度、表面粗糙度）时一般选用较慢的切割速度。伴随半导体、光伏材料技术的发展，需求量不断增加，切割加工量大幅增长，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工难度较大。

金刚石线锯切割

电镀金刚石线锯是用电镀的方法在金属丝(线) (基体) 上沉积一层金属(一般为镍及镍钴合金) 并在沉积的金属内固结金刚石磨料制成的一种线性超硬材料工具。

与内圆切割片、金刚石带锯、游离磨料多线切割相比较，金刚石线锯切割显现出一系列优点：加工表面损伤小、挠曲变形小，片厚一致性好，可随意改变切割方向，精度佳，，寿命长等。因此，越来越受到人们的关注。

快速切割

环形金刚石线锯是一种新型的切割工具。是采用复合电镀、滚扎，涂胶等方式，将高硬度的金刚石磨料固结在环形钢丝基体上制成的。由于锯丝为环形，无惯性力，因此可以实现高速锯切。

金刚石线锯是晶体加工的新秀，它能切割水晶，玛瑙，宝石等脆硬、贵重材料，也可以实现黄金等有色、***的快速切割。更重要是金刚石线锯要向高精半导体行业进军。

环形金刚石线锯将成为有发展前途的切割技术。

钕铁硼切割

随着烧结钕铁硼日本,德国,欧盟等在专利技术的解冻,我国各大烧结厂家的协同努力,烧结钕铁硼产品品位大幅提高.作为高科技应用领域的对其综合性能的不断提高,对其烧结钕铁硼表面处理的要求也大幅提高,传统的处理方法已经无法满足产业链进步的要求.电子科大,川大,交大,瑞仕莱斯等科研院校,从微观分子结构入手,从本质上完善表面处理的原理和工业应用工艺的开发

环形金刚石线锯机在磁性材料的切割方面有着绝极大的优势，切割NeFeB,截面63*36mm 用时6分钟，进给速度5mm/min