金刚石线切割
在国际上,游离磨料线锯切割在单晶硅、多晶硅的切割中占主流地位,但是这种技术存在明显的不足: 线锯走丝速度低,通常≤10m/S,切割效率低, 锯丝使用寿命短。切割大尺寸坯料时磨料难以进入到长而深的切缝,磨浆的处理和回收成本较高。因此,近来出现金刚石线切割代替游离磨料线锯的发展趋势。电镀金刚石锯线是将高硬度、高耐磨性的金刚石磨粒通过电镀的方式牢固地把持在钢丝基体上而制成的一种切割工具。
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线切割设备
切割液
金刚线切割设备使用的切割液主要作用是冷却,所以主要采取冷却水或油基冷却。使用水做切割液可以混合部分粘合剂,减轻清洗工序工作强度;其主要优势在于:***率、低成本、高精度、窄切缝、小翘曲变形、底表面损伤、底碎片率、无环境污染等特点。另一个作用是切损硅料容易回收。油基冷却主要是乙二醇做切割液,原理上乙二醇基的切割方法也有助于硅料的回收,但是需要相对复杂的化学方法处理,提高了回收成本。
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线切割速度
线切割过程中的速度调整:
若设置的线切割速度与实际切割速度不匹配容易发生夹线,进而使金刚石线断开,切割速度的设定没有具体规定,一般根据经验选择。电子科大,川大,交大,瑞仕莱斯等科研院校,从微观分子结构入手,从本质上完善表面处理的原理和工业应用工艺的开发环形金刚石线锯机在磁性材料的切割方面有着绝极大的优势,切割NeFeB,截面63*36mm用时6分钟,进给速度5mm/min。切割过程中当发现所选用的速度过大时可进行适当的调整,速度的大小可根据金刚石线出现弧度的速度进行调整,若切割过程中金刚石线几乎一直处于平直状态,说明所选用的切割速度还可以适当增加,直到调整到金刚石线的弧度状态一直保持不变的,说明所选用的切割速度适于材料的切割
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