金刚石线切割
在国际上,游离磨料线锯切割在单晶硅、多晶硅的切割中占主流地位,但是这种技术存在明显的不足: 线锯走丝速度低,通常≤10m/S,切割效率低, 锯丝使用寿命短。切割大尺寸坯料时磨料难以进入到长而深的切缝,磨浆的处理和回收成本较高。因此,近来出现金刚石线切割代替游离磨料线锯的发展趋势。因此张紧机构也要具备飞轮一样的精度,同时要有足够的稳定性及维护性。
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金钢线切割专用设备
目前,行业内硅片生产企业进行金钢线切割技术升级改造的方案主要有两种:
1,,即在现有的传统砂浆线设备基础上,通过对设备内部软硬件进行升级改造,从而满足金钢线切割工艺。
2.改造方案是直接采购金钢线切割专用设备。
基于金刚线本身性能与普通钢线的差异,金刚线切割对切片机的设备提出了更高的要求。因此现有的主流砂浆线切割设备在不进行改造的前提下,不能使用金刚线切割。
线切割速度
线切割过程中的速度调整:
若设置的线切割速度与实际切割速度不匹配容易发生夹线,进而使金刚石线断开,切割速度的设定没有具体规定,一般根据经验选择。由于是在原有的砂浆线设备基础上进行改造,因此改造设备相比专用设备,其切割效率及品质成本仍存在一定的差距,且随着金刚线细线化技术的不断发展,专用设备的优势将越来越明显。切割过程中当发现所选用的速度过大时可进行适当的调整,速度的大小可根据金刚石线出现弧度的速度进行调整,若切割过程中金刚石线几乎一直处于平直状态,说明所选用的切割速度还可以适当增加,直到调整到金刚石线的弧度状态一直保持不变的,说明所选用的切割速度适于材料的切割
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