多线切割机

近年来，由于***的重视，将极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项课题列入***重大科技专项，另外，国内有关设备制造企业也看到了这个巨大的商机，大力投入人力物力开展艰苦的研制开发，先以模仿为主，逐渐转向自主创新，研制出有自身知识产权的多线切割机。近年来，业内若干公司通过对金刚石绳锯成功的研究和推广，继而又迅速开展对绳锯机的研制和推广，两者相辅相成，双双迅速占领国内外市场。

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金刚线切割技术

金刚线切割技术也被称为固结磨料切割技术。它是利用电镀或树脂粘结的方法将金刚石磨料附着在钢线表面，将金刚线直接作用于硅棒或硅锭表面产生磨削，达到切割的效果。

金刚线切割具有切割速度快，切割精度高，材料损耗低等特点。切割线的技术突破是硅片加工成本下降的重要途径。金刚石线切割速度是普通钢线的2 倍，因此单位产量的折旧、人工和能源成本将降低一半。

线切割工艺

目前，金刚线切割工艺的辅料主要为金刚线及切割液：

金刚线 金刚石锯线是一种固态研磨工具，金刚石颗粒用电镀或者环氧基方式粘接在基线上。金刚石锯线分为电镀金刚石锯线和树脂结合剂锯线。

树脂结合剂金刚石锯线是一种采用树脂作为结合剂,将金刚石磨粒固结于锯丝基体表面而形成的固结磨料锯线。电镀金刚石长切割线是指采用电镀的方法将金刚石磨料固结到金属基体上形成的切割线，常用基体截面形状为圆形，一般为0。树脂结合剂锯线制造方法与树脂结合剂砂轮的制造类似,直接将含有金刚石磨料的树脂混合物涂敷在金属丝表面,经过干燥后再固化。相比电镀金刚石锯线,树脂涂层的剪切模量较低,锯丝的扭切强度基本不变,更重要的是树脂结合剂金刚石锯丝制作工艺简单,生产成本低,生产。、