线切割设备
线切割设备选取的注意事项
1、 张紧装置是使金刚石线保持适宜的张力,防止张力过大而断裂,同时避免过小而降低切割效率,甚至脱线。因此张紧机构也要具备飞轮一样的精度,同时要有足够的稳定性及维护性。
2、 进给工作台的精度直接影响加工精度,因此要根据用户的加工要求,配备相应精度的工作台。
3、 控制系统要根据不同的切割材料、不同的生产量来制订相应控制系统,达到适宜的自动化程度;同时设备具有良好人机操作界面、操作简便、维护方便、安全性可靠。
切割液
金刚线切割设备使用的切割液主要作用是冷却,所以主要采取冷却水或油基冷却。使用水做切割液可以混合部分粘合剂,减轻清洗工序工作强度;另一个作用是切损硅料容易回收。缺点是锯丝的有效工作强度受限制,锯丝利用率不高,切割速度较低(一般2—3m/s)。油基冷却主要是乙二醇做切割液,原理上乙二醇基的切割方法也有助于硅料的回收,但是需要相对复杂的化学方法处理,提高了回收成本。
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IC器件的基础性材料是半导体硅单晶材料,因此,世界各国对硅单晶材料的消耗量反映了一个***的IC制造业的规模和工艺水平,同时各国硅材料生产及硅圆片生产水平也代表了一个***IC工业的材料基础的实力。
线切割设备广泛应用于太阳能电池用单晶硅、多晶硅切割;功能陶瓷、人工晶体的切割。其加工速度快,切面质量好,被市场认可。
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