金刚石线切割设备

金刚石线切割设备成为研究和发展的主流趋势，本文介绍国外硅片切割设备研究的新进展以及国内发展状况，并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。

目前，硬脆性材料，如单晶硅、多晶硅、宝石、玻璃、陶瓷等，具有优良、稳定的物理和化学性能(如耐磨损性、抗腐蚀性、电绝缘性等)，在电子、光学及其它领域得到广泛应用，特别是单晶硅、多晶硅、陶瓷材料被广泛用于太阳能光伏产业、半导体、真空电镀等高精端产业中。它是利用电镀或树脂粘结的方法将金刚石磨料附着在钢线表面，将金刚线直接作用于硅棒或硅锭表面产生磨削，达到切割的效果。伴随半导体、光伏材料技术的发展，需求量不断增加，切割加工量大幅增长，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工难度较大。

金钢线切割专用设备

目前，行业内硅片生产企业进行金钢线切割技术升级改造的方案主要有两种：

1，,即在现有的传统砂浆线设备基础上，通过对设备内部软硬件进行升级改造，从而满足金钢线切割工艺。

2.改造方案是直接采购金钢线切割专用设备。

基于金刚线本身性能与普通钢线的差异，金刚线切割对切片机的设备提出了更高的要求。因此现有的主流砂浆线切割设备在不进行改造的前提下，不能使用金刚线切割。

硅片切割厂家

砂浆切割设备改造为金刚线切割设备的优点是，***小，每台设备的改造费用约60万元，可有效利用现有的设备，避免原有设备的闲置与浪费。此公司新开发的号称高速切割机，线速度也仅达20m/sec，且环线周长较短，长度2。目前，该方案适用于行业内部分近期无新增硅片切割项目的硅片切割厂家。由于是在原有的砂浆线设备基础上进行改造，因此改造设备相比专用设备，其切割效率及品质成本仍存在一定的差距，且随着金刚线细线化技术的不断发展，专用设备的优势将越来越明显。

高速线切割设备

树脂金刚石线的特点：

高强度树脂及金刚石相结合带来的强的切割能力，线径及金刚石粒度的配合及控制表现出了更好的硅片表面质量及切割表现，高耐扭曲能力的母线带来了非常低的断线率。但树脂金刚石线的工艺复杂，目前主要依靠进口，其成本较高，因此还得不到广泛的应用。

线切割设备多采用电镀金刚石线，国内的线切割设备生产厂家众多，生产能力强，已经可以满足各领域的切割需求