有些金刚石线锯在使用过程中会出现切面质量差,有线痕,整个区域看起来破碎不堪,究其原因,主要是以下几个方面。
在较大进给工艺下单颗金刚石压入深度增加,材料去除率和切割力的增加,切割精度高环形线锯条,晶片表面脆性断裂加剧,凹坑、线痕加宽、加深,终表现出粗糙度的增加。主要是因为材料在脆性模式下去除,切屑的形成是裂纹扩展交叉的结果,扬尘小环形线锯条,终以微观与宏观破碎的块状去除。个别凹坑看起来较严重,整个区域看起来破碎不堪,看起来好像是崩掉的,其实可能是由于在切割过程中脱落金刚石磨粒被挤压嵌入加工表面所造成的,这对材料表面质量的损害更严重。
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环形金刚石线锯切割是一种新型切割工艺,其切割速度高、切割应力小、切缝窄且环境友好等特点适合切割贵重硬脆材料。环线切割线锯有效磨粒数量少、线锯制造成本高,所以研究锯丝失效原因十分重要。
根据振动方程、材料断裂极限等计算出切割工艺参数的取值范围,切缝小环形线锯条 ,通过正交试验得到不同切割参数对切割质量的影响规律。切割试验发现锯丝张紧力对加工质量的影响较大,随着张紧力增大表面粗糙度值下降。
金刚石线切割机对于太阳能硅材料切割行业而言,是革命性的进步。金刚石线切割机切割工艺在日本普及率已经超过90%,在欧美该工艺也逐步得到广泛的认可和应用。在太阳能硅材料切割用的金刚石线切割机市场上,中国制造尚处于初级阶段,国内太阳能硅材料切割用的金刚石线切割机对外依存度很高。
环形金刚石线锯以及环形线切割机的研制成功,极大可能会是行业现状得到逆转,目前国外很多企业也纷纷对国内的环形线切割机产生浓厚的兴趣。
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