环形线锯
目前,大型往复式金刚石线锯机占金刚石线锯主导地位。但往复式由于受到正反转惯性作用,线速比较低,仅是3-10m/S,效率很低,且因为往复切割,导致工件表面质量不一致
环形线锯则克服了往复线锯的缺点,线速可高达60m/s,可实现***生产,因此在硅晶体、工业陶瓷加工等工业领域得到推广应用,并显示出其独特的***及优越性。随着半导体、光伏材料产业的发展,在硅、陶瓷、玉石、石墨模具、名贵石材等行业有着广阔的应用前景。根据材料特性,一般硬度适中(莫氏硬度<9)的脆性材料切割速度可适当快一些,如硅、石墨、压电陶瓷、玻璃等。
硅片切割厂家
砂浆切割设备改造为金刚线切割设备的优点是,***小,每台设备的改造费用约60万元,可有效利用现有的设备,避免原有设备的闲置与浪费。目前,该方案适用于行业内部分近期无新增硅片切割项目的硅片切割厂家。金刚石线切割设备成为研究和发展的主流趋势,本文介绍国外硅片切割设备研究的新进展以及国内发展状况,并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。由于是在原有的砂浆线设备基础上进行改造,因此改造设备相比专用设备,其切割效率及品质成本仍存在一定的差距,且随着金刚线细线化技术的不断发展,专用设备的优势将越来越明显。
线切割设备
IC器件的基础性材料是半导体硅单晶材料,因此,世界各国对硅单晶材料的消耗量反映了一个***的IC制造业的规模和工艺水平,同时各国硅材料生产及硅圆片生产水平也代表了一个***IC工业的材料基础的实力。
线切割设备广泛应用于太阳能电池用单晶硅、多晶硅切割;功能陶瓷、人工晶体的切割。其加工速度快,切面质量好,被市场认可。
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