金刚线切割技术
金刚线切割技术也被称为固结磨料切割技术。它是利用电镀或树脂粘结的方法将金刚石磨料附着在钢线表面,将金刚线直接作用于硅棒或硅锭表面产生磨削,达到切割的效果。
金刚线切割具有切割速度快,切割精度高,材料损耗低等特点。切割线的技术突破是硅片加工成本下降的重要途径。金刚石线切割速度是普通钢线的2 倍,因此单位产量的折旧、人工和能源成本将降低一半。
金刚石线切割机
金刚石线径的选择:
金刚石线径通常根据材料的特性选择,一般硬度高、强度大、耐磨损、耐腐蚀的材料不易被切割,因此应选用线径较粗、金刚石颗粒大的金刚石线,以此来保证金刚石线切割机对材料的切割能力和切割速度。无论切割何种材料切割速度太快都不利于切割出光滑平整的试样面,速度太快切割后的样品表面会有明显的切割线痕迹,因此当要求切断试样同时还要有很好的面型(平面度、平行度、表面粗糙度)时一般选用较慢的切割速度。当切割的材料易于切割时不需要很大的摩擦力便能将材料切削,因此一般选用小线径小颗粒的金刚石线。一些时候实验者会根据个人实验目的或被切割材料的特性对切割线径进行具体要求,如要求切割下来的样品表面平整度Ra在一定范围内或要求尽可能节约样品,这时所用金刚石线应按规定选择适当的线径。
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