硅片切割设备

金刚线专用设备主要有进口专机和国产转机，进口专用设备的报价基本在350万到500万之间，代表厂商有梅耶博格MB-288、NTC PV600DT等设备；电镀金刚石线锯是用电镀的方法在金属丝(线)(基体)上沉积一层金属(一般为镍及镍钴合金)并在沉积的金属内固结金刚石磨料制成的一种线性超硬材料工具。国产金钢线专用设备报价基本在200-240万之间，无论是国产专机还是进口专机，其前期投入均较大，且面临原有设备闲置浪费的风险，因此，目前该方案主要适用于近期计划新上硅片切割 设备厂家，如隆基、协鑫、阿特斯、比亚迪等近期新上的切片项目均采用的是金钢线专用设备。

精密切割机

金刚石线切割机的选择：

当切割样品较小，切割深度较小时通常可选用小型金刚石线切割机。

市场上有专为材料研究人员而设计，用于脆性材料样品的精密切割机。可用于各种不同硬度材料的切割，特别是适用于脆性、易解理的晶体切割；操作简便，加工质量优良；设备小巧，无需占用大面积位置。

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柔性切割

切割速度的选择：

金刚石线锯的切割属于柔性切割，利用金刚石颗粒的硬度比被切割的材料坚硬，切割过程中不锈钢线上镀有的金刚石颗粒层与被切材料进行往复磨削，达到切割的目的。根据材料特性，一般硬度适中（莫氏硬度＜9）的脆性材料切割速度可适当快一些，如硅、石墨、压电陶瓷、玻璃等。这是因为这些材料远没有金刚石坚硬，当金刚石线与其进行磨削时会很容易将材料磨削成颗粒进而切割。当切割金属或混合型材料或者难于切割的陶瓷材料，切割速度要尽可能慢。线切割设备的速度调整：切割速度的大小不仅与材料的性质有关，与切割面的大小也有关系，同种材料切割时，被切面较大的切割速度设置就要相对较小一些。