国内半导体制造和光伏电池上游加工,包括:去头尾、截断、开方等的加工,大部分仍然采用金刚石带锯设备。加工表面粗糙,浪费材料,金刚石带锯价格也不菲。
实际上,应该使用金刚石线锯机切割加工,能得到更高的质量。
元素环形金刚石线切割机的主要性能:
1. 切割晶体尺寸: 300*300 mm
2. 切割线线速度: 小于60 m/s
3. 工作台进给速度: 500 mm/s
4. 晶片表面粗糙度: Ra≤ 0.2μm
金刚石线切割机
金刚石线切割机常用的金刚石线有电镀型和树脂型两种。
1、电镀型:用电镀的方法在金属丝上沉积一层金属(一般为镍和镍钴合金),并在金属内固结金刚石磨料制成的一种线性超硬材料工具。金属镀层是结合剂,金刚石磨料则用于切削加工。
2,、树脂型:树脂金刚石线是在原有镀铜超细钢丝线上喷涂一种增强耐磨合金、特种树脂和金刚石超微粉的切割线,主要应用于单晶硅、多晶硅、蓝宝石、水晶、陶瓷和半导体材料的切割上,能取代目前碳化硅砂浆法,解决了环境污染。
高速线切割设备
树脂金刚石线的特点:
高强度树脂及金刚石相结合带来的强的切割能力,线径及金刚石粒度的配合及控制表现出了更好的硅片表面质量及切割表现,高耐扭曲能力的母线带来了非常低的断线率。但树脂金刚石线的工艺复杂,目前主要依靠进口,其成本较高,因此还得不到广泛的应用。
线切割设备多采用电镀金刚石线,国内的线切割设备生产厂家众多,生产能力强,已经可以满足各领域的切割需求
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