国内半导体制造和光伏电池上游加工,包括:去头尾、截断、开方等的加工,大部分仍然采用金刚石带锯设备。加工表面粗糙,浪费材料,金刚石带锯价格也不菲。
实际上,应该使用金刚石线锯机切割加工,能得到更高的质量。
元素环形金刚石线切割机的主要性能:
1. 切割晶体尺寸: 300*300 mm
2. 切割线线速度: 小于60 m/s
3. 工作台进给速度: 500 mm/s
4. 晶片表面粗糙度: Ra≤ 0.2μm
环形线锯
目前,大型往复式金刚石线锯机占金刚石线锯主导地位。但往复式由于受到正反转惯性作用,线速比较低,仅是3-10m/S,效率很低,且因为往复切割,导致工件表面质量不一致
环形线锯则克服了往复线锯的缺点,线速可高达60m/s,可实现***生产,因此在硅晶体、工业陶瓷加工等工业领域得到推广应用,并显示出其独特的***及优越性。根据材料特性,一般硬度适中(莫氏硬度<9)的脆性材料切割速度可适当快一些,如硅、石墨、压电陶瓷、玻璃等。随着半导体、光伏材料产业的发展,在硅、陶瓷、玉石、石墨模具、名贵石材等行业有着广阔的应用前景。
高速线切割设备
树脂金刚石线的特点:
高强度树脂及金刚石相结合带来的强的切割能力,线径及金刚石粒度的配合及控制表现出了更好的硅片表面质量及切割表现,高耐扭曲能力的母线带来了非常低的断线率。但树脂金刚石线的工艺复杂,目前主要依靠进口,其成本较高,因此还得不到广泛的应用。
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