蓝宝石基片的原材料是晶棒,晶棒由蓝宝石晶体加工而成。其相关制造流程有:定向-掏棒-切片- 研磨-倒角-抛光-清洗-品鉴,其中切割工序位于整个流程的前端,切割加工的好坏将直接影响后续加工。受到行业人员的高度重视。LED 蓝宝石硬度高,切片厚度要求在330um~430um,切割难度较大。目前切割蓝宝石晶片主要使用金刚石多线锯,线锯直径在0.25~0.35mm,而开方、截断、晶棒两头主要使用带锯加工。
实验表明:环形金刚石线 锯克服了多线锯切割的缺点,在切割线速度20m/s、进给速度0.5㎜/min及张紧砝码质量5kg时切割效果较好。
切割蓝宝石多使用金刚石多线锯,线锯切割加工的运动是往复的。由于线锯需要换向,环形砂线,所以线锯速度低且经常变化,这带来两个问题:一是线速度低,限制加工效率;二是材料加工表面存在线锯换向时的痕迹,影响表面质量。使用往复式金刚石线(0.3mm)切割2英寸蓝宝石晶棒需要耗时3~4个小时。
而环形金刚石线切割时锯丝单方向运动,线速度较高(20m/s),30分钟即可完成2 英寸蓝宝石晶棒的切断。
锯切表面粗糙度说明分析:锯切运动方式对锯切表面粗糙度的影响程度很大,无论是有机玻璃还是单晶硅,批发环形砂线,环形线锯丝锯切表面光滑平整、无崩碎现象,表面粗粗度达Ra0.8。由于环形线锯丝单方向连续运动,运动速度大,磨粒相对切割表面运动轨迹各不相同,实际上也均化原始误差,使表面切割纹理没有明显规律性。磨粒尺寸越小, ***环形砂线,切削深度越小,得到的加工表面质量越高。使用更小粒度金刚石磨粒制造的线锯丝,应当能够进一步减小加工表面粗糙度。因此环形线锯丝切割表面面形精度更高
环形砂线即把传统金刚石线首位相连形成一个闭环,可以实现单向高速高速切割的线锯。环形线锯切割时切割无换向使切割表面无换向纹(换向的切割线痕),切割精度高环形砂线,切割面形精度较高,改变进给方向可切割二维曲面。同时环形金刚石线不像传统长线一样有正反向,需要加速减速过程,环形砂线单向切割,可以把线速度大幅提高,可达60m/s的线速度。环形砂线锯技术在国外工业******已有较长的发展历史,技术成熟,配套齐全,应用广泛,甚至在军事和航天用的贵重敏感材料的精密切割工程中发挥关键的作用。
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