近十年来，国产金刚石长线锯在单晶硅、多晶硅切片开方以及蓝宝石切片方面获得迅速发展，同时环形金刚石线锯也悄然紧隨其后，依靠线速度快，切割效率高，配套设备结构简单的独特优势，国内几家超 硬材料工具企业大力投入，努力创新，并成功地应用到国产大型 KDP 晶体切割( 切宽 1000mm) 、大型 LBO 晶体切割、多晶硅截断开方、蓝宝石薄片切割( 切宽 150 ～ 220mm) 和各种靶材切割等诸多方面。

尤其用于多晶硅截断的环形电镀金刚石线截断机，已经应用到江浙一带的代工厂中。在多 晶硅、单晶硅贵重材料切割方面的独特优势。与其配套的线切割机也从单一的立式机发展到诸多品种。

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硬脆材料切割加工是首套工序，所以该工序具有重要作用。以往切割工艺有内（外）圆锯片切割、带锯切割等，其切割变形力大，切割后的材料表面和亚表面损伤严重，面形精度差等原因难以满足贵重晶体精密切割。传统的切割工艺加工精度不高给后期的研磨抛光加工带来大量加工余量而使整体加工效率下降。Kao 及其团队一直致力于研究游离态磨料加工（FAM）技术原理及力学分析，他们发现半导体加工时加工时间和加工晶体直径的平方成正比。近年来，由于科技的发展，环形电镀金刚石线的研究更加深入，国内外多家企业已经成功研制环形电镀金刚石线，切应用到工业生产中去。

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环形电镀金刚石线在在过去几年中迅速发展，这项新技术在晶体切片质量方面有很多人在研究。从图游离磨料切割后晶片，固接金刚石磨料切割后晶片，环形电镀金刚石线，表面形貌S可以看出两种加工方式下产生的不同表面形貌。

晶体材料切割质量因素包括晶片的总厚度变化（TTV）、表面质量（表面粗糙度、面形精度），晶片的机械强度、切损等。两种切割方式 MWSS（三体磨损）和DWS（两体磨损）去除机理将切割出不同表面质量的晶片。

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