线切割设备

切割液

金刚线切割设备使用的切割液主要作用是冷却，所以主要采取冷却水或油基冷却。使用水做切割液可以混合部分粘合剂，减轻清洗工序工作强度；另一个作用是切损硅料容易回收。油基冷却主要是乙二醇做切割液，原理上乙二醇基的切割方法也有助于硅料的回收，但是需要相对复杂的化学方法处理，提高了回收成本。线切割过程中的速度调整：若设置的线切割速度与实际切割速度不匹配容易发生夹线，进而使金刚石线断开，切割速度的设定没有具体规定，一般根据经验选择。

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?精密切割

精密切割加工是制备半导体和光电晶体基片的主要加工工艺之一，在微电子、光电子器件的制造过程中占有很高的地位。而随着微电子和光电子技术飞速发展，对半导体和光电晶体的切割加工提出更高要求。作为高科技应用领域的对其综合性能的不断提高,对其烧结钕铁硼表面处理的要求也大幅提高,传统的处理方法已经无法满足产业链进步的要求。***率、低成本、高精度、窄切缝、小翘曲变形、低表面损伤、低碎片率、无环境污染等是目前半导体和光电晶体的切割加工的新趋势。

高速线切割设备

树脂金刚石线的特点：

高强度树脂及金刚石相结合带来的强的切割能力，线径及金刚石粒度的配合及控制表现出了更好的硅片表面质量及切割表现，高耐扭曲能力的母线带来了非常低的断线率。但树脂金刚石线的工艺复杂，目前主要依靠进口，其成本较高，因此还得不到广泛的应用。

线切割设备多采用电镀金刚石线，国内的线切割设备生产厂家众多，生产能力强，已经可以满足各领域的切割需求