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作者:【元素工具】2020/3/22 0:10:08

金刚石线切割设备

金刚石线切割设备成为研究和发展的主流趋势,本文介绍国外硅片切割设备研究的新进展以及国内发展状况,并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。

目前,硬脆性材料,如单晶硅、多晶硅、宝石、玻璃、陶瓷等,具有优良、稳定的物理和化学性能(如耐磨损性、抗腐蚀性、电绝缘性等),在电子、光学及其它领域得到广泛应用,特别是单晶硅、多晶硅、陶瓷材料被广泛用于太阳能光伏产业、半导体、真空电镀等高精端产业中。伴随半导体、光伏材料技术的发展,需求量不断增加,切割加工量大幅增长,由于硬脆材料硬度高、脆性大,因此加工难度较大。树脂结合剂锯线的耐磨性和耐热性不如电镀金刚石锯线好,且效率较低,因此未来该技术也将被逐步淘汰。


快速切割

环形金刚石线锯是一种新型的切割工具。是采用复合电镀、滚扎,涂胶等方式,将高硬度的金刚石磨料固结在环形钢丝基体上制成的。由于锯丝为环形,无惯性力,因此可以实现高速锯切。

金刚石线锯是晶体加工的新秀,它能切割水晶,玛瑙,宝石等脆硬、贵重材料,也可以实现黄金等有色、***的快速切割。更重要是金刚石线锯要向高精半导体行业进军。

环形金刚石线锯将成为***有发展前途的切割技术。





高速线切割设备

树脂金刚石线的特点:

高强度树脂及金刚石相结合带来的强的切割能力,线径及金刚石粒度的配合及控制表现出了更好的硅片表面质量及切割表现,高耐扭曲能力的母线带来了非常低的断线率。但树脂金刚石线的工艺复杂,目前主要依靠进口,其成本较高,因此还得不到广泛的应用。

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