金刚石线切割
在国际上,游离磨料线锯切割在单晶硅、多晶硅的切割中占主流地位,但是这种技术存在明显的不足: 线锯走丝速度低,通常≤10m/S,切割效率低, 锯丝使用寿命短。切割大尺寸坯料时磨料难以进入到长而深的切缝,磨浆的处理和回收成本较高。2,、树脂型:树脂金刚石线是在原有镀铜超细钢丝线上喷涂一种增强耐磨合金、特种树脂和金刚石超微粉的切割线,主要应用于单晶硅、多晶硅、蓝宝石、水晶、陶瓷和半导体材料的切割上,能取代目前碳化硅砂浆法,解决了环境污染。因此,近来出现金刚石线切割代替游离磨料线锯的发展趋势。
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国内半导体制造和光伏电池上游加工,包括:去头尾、截断、开方等的加工,大部分仍然采用金刚石带锯设备。加工表面粗糙,浪费材料,金刚石带锯价格也不菲。
实际上,应该使用金刚石线锯机切割加工,能得到更高的质量。
元素环形金刚石线切割机的主要性能:
1. 切割晶体尺寸: 300*300 mm
2. 切割线线速度: 小于60 m/s
3. 工作台进给速度: 500 mm/s
4. 晶片表面粗糙度: Ra≤ 0.2μm
精密切割机
金刚石线切割机的选择:
当切割样品较小,切割深度较小时通常可选用小型金刚石线切割机。
市场上有专为材料研究人员而设计,用于脆性材料样品的精密切割机。可用于各种不同硬度材料的切割,特别是适用于脆性、易解理的晶体切割;操作简便,加工质量优良;设备小巧,无需占用大面积位置。
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