金刚石线切割

在国际上，游离磨料线锯切割在单晶硅、多晶硅的切割中占主流地位，但是这种技术存在明显的不足： 线锯走丝速度低，通常≤10m/S，切割效率低, 锯丝使用寿命短。切割大尺寸坯料时磨料难以进入到长而深的切缝，磨浆的处理和回收成本较高。因此，近来出现金刚石线切割代替游离磨料线锯的发展趋势。树脂结合剂金刚石锯线的制造工艺分为四个主要过程:a、金刚石磨料与树脂配料。

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线切割工艺

目前，金刚线切割工艺的辅料主要为金刚线及切割液：

金刚线 金刚石锯线是一种固态研磨工具，金刚石颗粒用电镀或者环氧基方式粘接在基线上。金刚石锯线分为电镀金刚石锯线和树脂结合剂锯线。

树脂结合剂金刚石锯线是一种采用树脂作为结合剂,将金刚石磨粒固结于锯丝基体表面而形成的固结磨料锯线。树脂结合剂锯线制造方法与树脂结合剂砂轮的制造类似,直接将含有金刚石磨料的树脂混合物涂敷在金属丝表面,经过干燥后再固化。相比电镀金刚石锯线,树脂涂层的剪切模量较低,锯丝的扭切强度基本不变,更重要的是树脂结合剂金刚石锯丝制作工艺简单,生产成本低,生产效率高。金刚石线切割设备成为研究和发展的主流趋势，本文介绍国外硅片切割设备研究的新进展以及国内发展状况，并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。、

线锯切割机

单线切割的金刚石线锯分为往复式金刚石线锯和环形回转式金刚石线锯；

环形回转式线锯是被焊接为环形，可通过导轮实现循环切割。

优点：1.整个锯丝长度均可参与切割；

2.使用寿命长；

3.切割速度高（高达10——60m/s）。

单线往复式金刚石线锯切割机的优点是：结构简单，适应性好，可进行内外表面的切割加工；可以自由改变切割方向及倾斜角度，进行复杂轮廓切割。缺点是锯丝的有效工作强度受限制，锯丝利用率不高，切割速度较低（一般2—3m/s）。