?精密切割
精密切割加工是制备半导体和光电晶体基片的主要加工工艺之一,在微电子、光电子器件的制造过程中占有很高的地位。而随着微电子和光电子技术飞速发展,对半导体和光电晶体的切割加工提出更高要求。***率、低成本、高精度、窄切缝、小翘曲变形、低表面损伤、低碎片率、无环境污染等是目前半导体和光电晶体的切割加工的新趋势。金刚石线切割速度是普通钢线的2倍,因此单位产量的折旧、人工和能源成本将降低一半。
蓝宝石切割
目前人们研究和应用较多的是截面为圆形的单根钢丝的金刚石长切割线和环形电镀金刚石切割线。电镀金刚石长切割线是指采用电镀的方法将金刚石磨料固结到金属基体上形成的切割线,常用基体截面形状为圆形,一般为0.12~0.5mm,主要用于硅晶体、蓝宝石切割加工。与内圆切割片、金刚石带锯、游离磨料多线切割相比较,金刚石线锯切割显现出一系列优点:加工表面损伤小、挠曲变形小,片厚一致性好,可随意改变切割方向,精度佳,效率高,寿命长等。
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环形电镀金刚石线
环形电镀金刚石切割线是指将金刚石磨料电镀到环形金属基体上形成的切割线。该类切割线使用时一般缠绕到几个导轮上进行单向循环切割,切割过程中无需换向,因此切割速度高。
环形电镀金刚石切割线中的由单根钢丝焊接成环形的切割线的线径一般不大于1 mm,因此切缝较小,适合于硅晶体和蓝宝石等比较贵重的硬脆材料的切割。
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