河南混合气价格表承诺守信“本信息长期有效”
作者:【科晶化工】2020/8/6 21:35:27








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电子工业用混合气是指在大规模集成电路(LSI)、超大规模集成电路(VLSI)和半导体器件制造中,用于气相外延生长、化学气相淀积、搀杂、蚀刻和离子注入等工艺(工序)的一类特殊电子混合气。主要有外延(生长)混合气、化学气相淀积用混合气、搀杂混合气、蚀刻混合气和其他电子混合气。

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2、静态容量法:目前,***标准仍然沿用静态容量法配气装置配气。

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5、质量流量比法:该方法以流量比率混合的方法进行标准混合气体的配制,因此流量的准确测定是保证所配制所的关键。


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