洁净技术,即玷污控制(Contamination Control)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、防护及实验等过程中,对其所处环境内玷污物(影响对象的加工、处置等质量、合格率或成功率的物质)进行控制的技术。 玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。 污染包含直接污染和交叉污染。 人是污染源的大发源地:静坐时,***每分钟散发10万个粒子(粒≥0.5μm); 每天脱落6~13克表皮细胞,雅安无尘车间,一年脱落***细胞约3.5公斤。 半导体洁净室内微污染来源,经测试,作业人员占80% 。 十万级GMP洁净车间对不同的对象,有不同的玷污物控制要求。 计有: ⑴空气中悬浮微粒(非生物性及生物性) ⑵空气中悬浮分子玷污物 ⑶病毒 ⑷微振 ⑸静电 ⑹生产工艺介质:高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯***等的有关杂质。
一、无尘车间内有多种工序时,应根据各工序的不同要求,采用不同的空气洁净度等级。
二、在满足人生产工艺要求的前提下,洁净厂房的气流组级别,无尘净化车间安装,宜采用局部工作区空气净化和全室空气净化相结合的形式。
三、层流洁净厂房和乱流洁净厂房以及运行班次和使用时间不同的洁净厂房,其净化空气调节系统均宜分开设置。
四、无尘车间内应保证一定的新鲜空气量,其数值频取下列风量中的较大值;乱流洁净厂房总送风量的10%~30%,层流洁净厂房总送风量的2~4%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。
五、洁净区的清扫,宜采用移动式***真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。洁净厂房内集中式真空吸尘系统的管道,洁净无尘车间,应暗敷。
六、在净化空气调节系统设计中,对施工和维护管理要求,万级无尘车间,可按附录四和附录五的规定。
1、熟悉空调系统相关技术文件、图纸,室内、外空气计算参数,风量负荷、温湿度控制精度要求等过程;
2、调试人员会同设计、施工和建设单位深入现场,查清空调系统安装质量不合格的地方,查清施工与设计不符的地方,记录在缺陷明细表中,限期修改完;
3、备好调试所需的仪器、仪表和必要的工具和有关记录事宜;
4、在各分项目调试完毕之后进行空调系统综合性能测定,测定系统联动运行的综合指标是否满足设计要求,如达不到应在测定中作进一步调整;
5、对洁净室进行洁净度、温度、湿度及静压值进行测试,如达不到要求,则需进一步调整。
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