无尘车间洁净度之维持和控制,除了硬设备之配合***外,也需要良好的 软件——管理制度来搭配,方能维持良好的洁净度。
无尘车间内之污染来源,经测试分析结果,作业人员占约 80%,作业人员进出无尘车间时无尘车间的污染源可分为外污染及内污染源。
外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、以及一般性气体如 N2、O2、Air、给水、溶剂等;而内污染源则包括生产设备、工作人员、工具、加工制造、隔间材料、工作台、 包装材料等。所无尘布厂家以无尘车间工作不但要使用无尘材料,如无尘布,无尘服等,还要加强对进出人员的管理,方能发挥无尘车间应有的作用。
1、1级:级的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业,对集成电路的准确要求为亚微米。
2、10级: 十级的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
3、100级:百级无尘车间并非无菌室,百级无尘车间对“无菌”的或“无尘”的环境要严格。
4、1000级:千级的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产。
5、10000级:万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配。
6、100000级:十万级无尘车间用于很多的工业部门。
7、300000级别:三十万级无尘车间级别较低,用于普通洁净区,如级别不高的走道。
百级无尘车间并非无菌室,千级无尘车间对“无菌”的或“无尘”的环境要严格。
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