实验室净化车间对湿度的控制有哪些要求【山西东胜科星实验室设备有限公司】

湿度控制是净化车间生产必需具备的重要条件，相对湿度是净化车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件。半导体净化车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。