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作者:乙炔气厂2020/10/7 3:14:33





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***气的主要应用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等。用作ICP,气相色谱仪等仪器的载气,标准气、平衡气、零点气等。***气是制氧的副产品,因为***气的沸点介于氧、氮之间,差值很小,所以在***气中常残留一定数量的杂质。








***气的制备方法

合成氨尾气提取***。

合成氨尾气由其弛放气和氨罐排放气组成,其组成为:60%~70%H2、20%~25%N2、3%~8%Ar、8%~12%CH4及约3%NH3。合成氨尾气提***有低温精馏法和冷凝蒸发法,典型流程有三塔提***流程和两塔提***流程及带热泵循环提***装置三种,其生产工艺包括原料气净化、脱氢、脱氮四步工序。

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高纯***气无色无味***的气体。化学性质很不活泼,未形成任何化合物。相对密度ds(21.1℃)1.38。气体密度1.650kg/m3(21.1℃);液体密度1394.0kg/m3(-185.9℃)。沸点-185.9℃。熔点-189.2℃。采用空气分离提***,即将液化的空气进行精馏,瓶装***气供应,得到粗***。抽出粗***,瓶装***气厂址,经进一步提纯可得到高纯***。

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