在微机电的领域中,前人发表欲使用微电阻焊使用在三维立体微致动器与微感测器组装与电流导通,但仍有焊接点氧化现象。本的结果证明使用***气做为微电阻焊之遮护气体是有效改善焊接程与品质的,在未来有很大的机会实现利用微电阻焊的原理来三维立体元件的组装。
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以***气做为微电阻焊组装微结构之遮护气体的研究,结构以黄光微影、溅镀与电镀等表面金属微加工技术成,设计上利用V型梁电热式致动器输出焊接所需要的压力,藉由结构在接触面上会产生接触电阻,在***气的环境下通入电流时候会因此产生局部高温,焊接***气厂家,使得材料镍融熔进而产生接合,再利用探针拉扯测量其焊接强度,焊接点尺寸为。
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