***气的主要应用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等。用作ICP,气相色谱仪等仪器的载气,标准气、平衡气、零点气等。***气是制氧的副产品,因为***气的沸点介于氧、氮之间,***气厂家,差值很小,所以在***气中常残留一定数量的杂质。
液***是将高纯***气压缩成液态气,储存于杜瓦罐中。液***使用时放出的是气相的,液***储存在杜瓦罐中会有一个自然增压的过程,当它的压力过高时杜瓦罐会进行安全泄压,在这个自然增压和泄压的过程中,***气很简单就被释放了。
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高纯***在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体;在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯***也可作为色谱载气。在金属冶炼方面,氧、***吹炼是生产钢的重要措施,每炼1t钢的***气消耗量为1~3m3。此外,对钛、锆、锗等特殊金属的冶炼,以及电子工业中也需要用***作保护气。
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