半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点

废气工程：由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有***体。

空压气体工程：螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成：空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。

洁净室设在外围,而走廊设在内部,这种走廊的洁净度级别一般都较

内廊式：洁净室设在外围，而走廊设在内部，这种走廊的洁净度级别一般都较高，甚至和洁净室同级。两端式：洁净区设在一边，另一边设准洁净和辅助用房。核心式：为了节约用地、缩短管线，可以洁净区为核心，上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来，这种方式避开室外气候对洁净区的影响，减少了冷热能耗，利于节能。为了在操作中尽量减少人活动产生的污染，人员在进入洁净区之前，必须更换洁净服并吹淋、洗澡、消毒。这些措施即“人身净化”简称“人净”。

装配式洁净室壁板的特点

装配式洁净室壁板。总特点是：装配式洁净室是当今大量采用的一种洁净室形式，特别适用于改建场合。其壁板特性因材料而异。金属类壁板除具有金属类壁板的特点外，双层填充壁板还具有隔热特点，适宜用于有空调特别是恒温要求的场合。双层填充的壁板的强度高。材料：壁板由面材和芯材组成。要根据设计对象选用。面材包括贴塑木板、铝合金板、钢板、彩色钢板等。

如果选择集中式洁净空调系统,空气处理设备

如果选择集中式洁净空调系统，空气处理设备集中在机房内，通过输送管把处理后的空气分配给末端装置，再送到实验室内，以不同换气次数和气流形式来实现洁净等级参数的综合控制。其特点是处理空气量大，便于参数控制，是实验室装修在洁净工程方面的方式。如果选择分散式洁净空调系统，会在实验室有洁净需求的区域配置单独的空调处理系统，在出风口处通过过滤器进行空气处理，然后分配给末端装置，从而实现洁净等级参数的综合控制。通常来说，此方式适合局部有洁净需求的实验室。