洁净室(区)内设置真空泵时,应符合下列规定

洁净室（区）内设置真空泵时，应符合下列规定：1．电子工厂装修对于传输、自燃***或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。2．对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过下限的20%时，应设尾气处理装置，在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分。3．使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统。

智能平台:洁净系统中的风量控制

智能平台：洁净系统中的风量控制采用文丘里阀门，实时监控流量及状态，可在线诊断。并可以维持房间压力、温度、湿度的平稳可靠。中控室中把空调、特气、纯水、监控、房间温湿度等参数集成管理、显示、储存，并对数据进行打印输出及溯源查找。并经设备输出在参观通道播放，方便参观。弱电系统工程：高清视频监控系统空调动力电工程：统计总用电量约830KW，空调用电约330KW。动力（镀锌线槽）沿墙体及天花敷设，再分至车间及设备电箱，安装在楼板下。主电缆采用YJV型号。

无尘车间含微粒数少于一定数量要求

无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、***等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。无尘车间室内空气经处理后，所含微粒数少于一定数量要求，一般分十万级、万级、千级等，即室内每立方米空间的微粒数不大于十万、一万、一千个……。目前，无尘车间已经在电子、光学、精密仪器、注塑等行业里广泛使用。