半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点
废气工程:由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类:酸性气体、碱性气体、有机废气和有***体。
空压气体工程:螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成:空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。
电子制造行业洁净室净化空调系统加热器
电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量,应取下面三项值:保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量;根据热,湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量;向电子制造厂洁净室给的新鲜空气量。对于电子工厂装修的厂房布局而言,其注意事项体现在3方面,即:厂房平面设计、厂房立面布置、布置设计要求。
工厂装修洁净室入口宜设空气吹淋室
工厂装修洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时,应设气闸室。空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室,宜设气闸室。空气吹淋室的进、出门不得同时开启,应采取连锁控制措施。单人空气吹淋室,应按班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设单向旁通门。不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa。工厂装修洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa。
电子厂房装修步骤要注意什么?
电子厂房一般都是需要净化车间,适用于的行业有电子仪器仪表、计算机房、半导体厂、印刷厂、微机制造等,除了要空气洁净度以外还要保证达到除静电的要求。电子厂房装修步骤要注意什么呢?电子厂房的设计装修要满足电子工业洁净厂房设计规范的要求,还要满足今后电子产品的生产工艺要求,电子厂房装修步骤中还要注意根据具体情况为今后产品生产发展或生产工艺改进的需要预留条件。
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