无尘净化工程对车间有明确的要求
无尘净化工程对车间有明确的要求,为了满足需要、保证产品质量,要对车间的环境、人员、设备和生产过程等进行控制。车间的管理,包括对车间工作人员、物料以及设备、管线管理。对车间工作人员工作服的制作,车间的清洗。室内设备及装修材料的选择和清扫、灭菌等,防止车间内尘粒、微生物的产生。设备、设施的维护管理,制定相应的操作规范,保证设备按要求运转,包括净化空调系统,水气电系统等,确保生产工艺要求和空气洁净度等级。
半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点
废气工程:由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类:酸性气体、碱性气体、有机废气和有***体。
空压气体工程:螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成:空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。
洁净区内的室内装修应选用气密性良好
洁净区内的室内装修应选用气密性良好,且在温度和湿度变化的作用下变形小的材料。洁净室墙壁和顶棚的表面应无裂缝、光洁、平整、不起灰、不落灰尘、耐腐蚀、耐冲击、易清洗、避免眩光(如采用瓷釉漆涂层墙面和金属隔热夹芯板),阴阳角均宜做成圆角,以减少灰尘积聚和便于清洗。洁净室地面尖整体好,平整、无缝隙、耐磨、耐腐蚀、耐撞击、不易积静电、易除尘清洗(如采用环氧自流平整地坪或现浇水磨石地面)。
在厂房装修过程中,首先要注意的是合理有效地划分空间,布局是厂房装修的首要因素,一般的厂房面积较大,那么在划分使用功能的时候还要考虑到分布以及通风、消防通道的预留。为便于管理,厂房多明确划分设备区与办公区的位置,并以地面的色调为准,对区域进行划分,同时也要考虑到设备区与办公区的空间流畅性。还应该考虑到通风、采光的需要。如果设备众多的,应该划分好区域,做好标识。划分区域的标识应该尽量避免色彩过多,做到明朗、清晰就可以。
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