半导体净化车间设计的设计范围

半导体净化车间设计的设计范围包括：装修方案（围护、地面防水保温处理），暖通方案（空调设备、风管、水管等），特气供应方案（特气柜含***控制、房间气体监测、EP级管道及BA管道、供气管路尾气处理），压缩空气方案，废气处理方案（仪器设备POU处理、房间排风废气处理），电气方案（空调设备动力配电等），弱电工程，集成控制智能平台，纯水方案（冷却水、去离子水、超纯水、水管等），废水处理。

半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点

废气工程：由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有***体。

空压气体工程：螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成：空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。

排风口设计标准:室内进气保持洁净

排风口设计标准：在排风口要装有空气过滤器，还有就是送风口上装过滤静压箱，这样就可以实现室内进气保持洁净，且更换过滤器也方便；室内送、排风的时候基本采用上送下排的形式，排风口要设在室内可能被污染的区域，采用单侧布置，设置的时候不得有任何障碍，这样就保证了风源的洁净。窗帘要求：在设计的时候，传递窗可为全不锈钢材质制备，采用机械联锁控制装置，其内部要有灭菌设备。